本科毕业设计_聚合物涂敷的上下电极面积不同的压电晶体传感器研究.doc

聚合物涂敷的上下电极面积不同的压电晶体传感器研究 中 文 摘 要 随着人们环保意识的加强和人类可持续性发展的需要，对各种能监测环境中有毒有害物的传感器的需求越来越大。因此，开发和研究出新的性能更好、更加经济实惠的传感器来满足社会不断增长的需要是广大的研究工作者义不容辞的责任。 本文从研制有机磷毒剂（神经性毒剂的模拟剂）传感器的三个方面—敏感材料、器件结构、敏感特性及工作原理出发，设计了三种不同结构的器件；同时利用导电聚合物对电信号的变化非常敏感）ppm 到51 ppm。 基于传统的离子敏器件（ISFET）的基础上，首次设计和制作出了阵列型的离子敏场效应管传感器，优化出化学方法制备的适宜于ISFET传感器应用的导电聚合物PEDOT膜和PEDOT固定化的胆碱酯酶膜。制备出了PEDOT固定化的胆碱酯酶场效应管传感器，搭建了一种能用ENFET传感器进行敌敌畏（DDVP）检测的测试系统，并对这种ENFET传感器的工作原理和敏感特性进行了一系列研究。 基于传统的离子敏器件（ISFET）的基础上，首次自行设计和制作了阵列型的H＋离子敏的电荷流动型场效应管，通过在开槽敏感栅上电化学沉积电子聚合物PEDOT薄膜，来检测对H＋的响应，发现这种H＋离子敏的电荷流动型场效应管对H＋离子的灵敏度高达0.955V/pH。并对其这种敏感机理进行了探讨。 首次采用自组装的方法在压电晶体的银电极表面组装了聚乙烯