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* Ver.株式会社 清和光学製作所 SEIWA Equipment for Touch Panel * 　 清和 Touch Panel 用 设备群 1)曝光设备 3) Laser Repair 设备 2)AOI检查设备 纵型、水平型、 Roll to Roll 式Film ITO、OC、Metal 成像 手动、半自动、 AOI连动半自动 * 　　　曝光设备 Lineup 400＊500 ～620＊750对应 水平型 Film对应 Roll to Roll 730x920 对应 垂直型　 持有自动Mask更换功能 （5 cassette型） 小片 对应 高速型 * 4inch 7inch 10.1inch 10,12inch为另行对应 Loader Exposure UnLoader Ｏｎｅ　Ｇｌａｓｓ　ＴｏｕｃｈＰａｎｅｌ用高速曝光设备 * Ｏｎｅ　Ｇｌａｓｓ　ＴｏｕｃｈＰａｎｅｌ用高速曝光设备 　素玻璃 装饰Ｉｎｋ涂布 外形基准Alignment 　BM曝光 ITO spatter 　BM Coaner　 　 Alignment ITO曝光Mark形成 　OC 涂布 　以ITO Mark进行OC曝光 ITO Mark　　On Metal Alignment 　ＯＣ形成 　Touch Panel 　　完成 * ????? A型号　(In　Out　分别结构) B型号（In　Out　前端投入）　 ????? Ｏｎｅ　Ｇｌａｓｓ　ＴｏｕｃｈＰａｎｅｌ用高速曝光设备 * 　　　　　　　基本规格 1) UV Lamp 输出 照度 (100% i-线） 2) 曝光均匀性 : 3.0%～5％以内 3) C.H.A. : 1.5 degree 4) D.A. : 0.86 degree 5) Alignment 精度 : +/- 1 um（小片5μｍ） 8) Total Pitch : +/- 4.5 um (Quartz Mask Soda Glass) 7) Overlay : 4 um (Quartz Mask Soda Glass) 6) 曝光分解能 (Line / Space) : 8 um / 8 um (Gap 50um) * 　　　曝光设备（2G水平型） Unloader Stage Loader Stage Exposure Table Shuttle Hand 水平型 基板搬送 ～曝光 X Y Z Theta Tilt Table Mask Gap Sensing by Gap Sensor Edge Sensor Alignment * 　　　曝光设备（3Ｇ～4.5G水平型） 水平型机器人搬送 ～ 曝光 Unloader Loader Unloader Loader Exposure Table Loader Un　Loader 对应薄panel、以RB搬送可稳定的0.33 mm t的panel进行搬送。 以适合panel翘曲等的搬臂进行对应。 * 　　　　纵型曝光设备　4.5G以上 80 degree Air Blow Air Blow 垂直型 基板搬送 ～ 曝光 Edge Sensor Alignment Gap Sensing Mask Holder Table Mask Holder XY-Theta-Tilt Alignment CCD Gap Sensor 照度計 * 　　　　　　对比能力 2nd Exposure Alignment ITO PR Alignment Alignment Glass ITO Mark ITO Mark 3rd Exposure Alignment Alignment Alignment Metal PR ITO Mark ITO Mark ITO Mark Thickness : around 200 angstrom Metal Layer Thickness : around 3000 angstrom 清和独有的Alignment性能 * 　　　　 Film曝光设备 Roll to Roll　EPC蛇行防止控制 　　　单面曝光 　　　两面曝光 面向Touch panel、3D Film、FPC, 机能性Film、光导波路等的Device???！ * 　 Film縦型両面同時露光装置 * 　 Film縦型両面同時露光装置 * 　　　Film縦型双面曝光设备 外観図面 * 　　　　　AOI检查设备 Glass IN-OUT ITO，OC，Metal 检查 * 　　　　　AOI检查设