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第 八 章 透 射 电 子 显 微 镜 材料分析测试技术 第八章 透射电子显微镜 §8.1 透射电子显微镜的结构与成像原理 真空系统 透射电镜的构成 电子光学系统 电源与控制系统 照明系统 成像系统 观察记录系统 透射电子显微镜(JEM-2010F)主体的断面图 (1) 电子枪(电子源) (2) 高压发生器和加速管 照明电子透镜系统和偏转系统 试样台和试样架 (5) 放大和成像电子透镜系统 (6) 观察室和照相室 阳极 枪倾斜 枪平移 一级聚光镜 二级聚光镜 聚光镜光栏 光倾斜 光平移 试样架 物镜 物镜光栏 选区光栏 中间镜 投影镜 荧光屏 一、照明系统 1、电子枪－－发夹式钨丝阴极、栅极帽和阳极 自偏压回路可以起到稳流和限流的作用。 电子枪交叉点处的电子束直径50μm 热电子发射型电子抢 热电子发射型电子枪的外观(a)和结构(b) 发夹式钨灯丝电子束流和冷束电子枪束流的示意图和灯丝像的模样 2、聚光镜 一般都采用双聚光镜系统： 第一聚光镜是强激磁透镜，束斑缩小率为10～50倍左右，将电子枪第一交叉点束斑缩小为1～5μm； 第二聚光镜是弱激磁透镜，适焦时放大倍数为2倍左右结果在样品平面上可获得2～10 μm的照明电子束斑。 二、成像系统由物镜、中间镜和投影镜构成 1、物镜 物镜用来形成第一幅高分辨率电子显微图像或电子衍射花样的透镜。透射电子显微镜分辨本领的高低主要取决于物镜。 物镜是一个强激磁短焦距的透镜(f＝1～3mm)，它的放大倍数较高，一般为100～300倍。 物镜的分辨率主要决定于极靴的形状和加工精度。一船来说，极靴的内孔和上下极靴之间的距离越小，物镜的分辨率就越高。 物镜极靴的断面图(JEL20l0F) 物镜四个特征参数： A 焦距 对于磁透镜而言，激磁越强，焦距越短，球差越小 B 球差系数Cs C 色差系数Cc D 聚焦的最小可变量ΔfA 物镜极靴 2、中间镜 中间镜是一个弱激磁的长焦距变倍透镜，可在0～20倍范围调节。当放大倍数大于1时，用来进一步放大物镜像；当放大倍数小于1时，用来缩小物镜像。 如果把中间镜的物平面和物镜的像平面重合，则在荧光屏上得到一幅放大像，这就是电子显微镜中的成像操作，如图8－4(a)所示； 如果把中间镜的物平面和物镜的背焦面重合，则在荧光屏上得到一幅电子衍射花样，这就是透射电子显微镜中的电子衍射操作，如图8－4(b)所示。 3、投影镜 投影镜的作用是把经中间镜放大(或缩小)的像(或电子衍射花样)进一步放大，并投影到荧光屏上，它和物镜一样，是一个短焦距的强磁透镜。 投影镜的激磁电流是固定的，因为成像电子束进入投影镜时孔径角很小(约10-5rad)，因此它的景深和焦长都非常大。即使改变中间镜的放大倍数，使显微镜的总放大倍数有很大的变化，也不会影响图像的清晰度。 三、观察记录系统荧光屏和照相结构 电子感光片是一种对电子束曝光敏感、颗粒度很小的演化物乳胶底片，它是一种红色盲片。由于电子与乳胶相互作用比光子强得多，照相曝光时间很短，只需几秒钟。 慢扫描摄像机的构成 TV摄像机： 由专用的荧光屏和电视摄像机组成 成像板： 原理上，电子显微镜用的成像板与x射线用的成像板是一样的，它是在塑料 片基上涂布光激励隐像显现性荧光粉(在BaF (Br，I)）的卤素化合物中掺Eu2+的荧光物质的二维记录材料 慢扫描CCD摄像机: 它比通常的CCD摄像机检出 灵敏度高、动态范围宽。 § 8.2 主要部件的结构和工作原理 1、样品平移与倾斜装置（样品台） 双轴倾斜试样架倾斜部 的结构和动作示意图 各种侧插试样架的外观 2、电子束倾斜与平移装置 3、消像散器 电磁式消像散器通过电磁极间的吸引和排斥来校正椭圆形磁场。 4、光阑 （1）聚光镜光阑： a、限制照明孔径角； b、装在第二聚光镜下方； （2）物镜光阑（衬度光阑）： a、安在物镜后焦面上，直径20～120 μm； b、用来呈暗场像； c、用无磁性的金属制造，具有自洁功能 （3）选区光阑（场限光阑或视场光阑） a、安在物镜的像平面上； b、用无磁性金属材料制成的，直径在20～400 μm § 8.3透射电子显微镜分辨本领和放大倍数的测定 1、点分辨率的测定 将铂、铂-铱或铂-把等金属或合金，用真空蒸发的方法可以得到粒度为5-10A、间距为2-10A的粒子，将其均匀地分布在火棉胶(或碳)支持膜上，在高放大倍数下拍摄这些粒子的像。为了保证测定的可靠性．至少在同样条件下拍摄两张底片，然后经光学放大(5倍左右)，从照片上找出粒子间最小间距，除以总放大倍数，即为相应电子显微镜的点分辨本领。 2、晶格分辨率的测定 晶格分辨本领的测定：利用外延生长方法制得的定向单晶薄膜作为标样，拍摄其晶格像。 这种方法的