激光干涉微位移测量系统设计精选.doc

北京信息科技大学 《专业综合实践》报告 题 目 激光干涉微位移测量系统设计 学 院 仪器科学与光电工程 专 业 光信息科学与技术 学 号 2011010736、744、750、728 姓 名 邓伟壮、潘晗、张驰、贾希冉 指导老师 日 期 2015.1 目录 题 目 激光干涉微位移测量系统设计 1 目录 2 一、方案要求 3 1、设计内容 3 2、设计目标 3 3、设计预计实现目标 3 二、方案调研及原理 3 1、光学微位移测量的几种方法 3 （1）光外差法 3 （2）电镜法 3 （3）激光三角测量法 3 （4）干涉法测量 4 2、 光电接收器件 4 （1）光敏电阻 4 （2）PIN光电二极管 4 （3）利用PIN光电二极管检查光信号 6 三、测量系统设计 8 1、 整体电路设计 8 2、 光路部分 8 3、 电路部分设计 9 （1） 前置放大电路（电流/电压转换） 10 （2） 电压跟随器（电压稳定） 11 （3） 去直流电路（高通滤波） 11 （4） 滤波电路（低通滤波） 11 （5） 两级放大电路（5~50倍放大）