激光干涉仪原理及应用精选.doc

SJ6000激光干涉仪 激光干涉仪概述 SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测 速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可 以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的 测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测， 可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统 的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，为机床误差修正提供依据。  SJ6000激光干涉仪  SJ6000激光干涉仪 激光干涉仪性能特点 1.测量精度高、速度快，稳定性好 ①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度 稳频(0.05ppm) ②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级 ③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。 ④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测 量精度 ⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形 变 2.应用范围广 ①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测 ②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定 度等分析 ③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析 3.软件界面友好 ①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。