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材料表面分析技术 外观检测 成分及组织结构分析 物理及力学性能检测 耐蚀性检测 耐磨性检测 X射线衍射（XRD） 各相物质均具有其独具的晶体结构。 在给定波长的X射线照射下，每种晶体物质都形成自己特定的衍射花样。 对于复相物质，其衍射花样是各相物质衍射花样的机械叠加。 将被测试样的衍射花样与一组标准单相物质的衍射花样逐一对比，从而判断其相组成。 X射线衍射分析的应用 物相定性分析 物相定量分析 点阵常数测定 应力测定 晶体取向测定 XRD物相定性分析的过程 获得衍射花样 计算面间距d 值和测定相对强度Ⅰ/Ⅰ1 检索PDF卡片和核对PDF卡片 分析判定 XRD定量分析 常用的物相定量分析分析方法有三种： 1 外标法（单线条法） 它是用分析相的纯样品的某一衍射线为标准 2 内标法 用掺入试样内的某已知物相的衍射线为标准 3 直接对比法 用试样中另一相的衍射线为标准 俄歇电子能谱分析（AES） 俄歇电子能谱（AES）是用具有一定能量的电子束(或X射线)激发样品俄歇效应，通过检测俄歇电子的能量和强度，从而获得有关材料表面化学成分和结构的信息的方法。 俄歇分析的选择 对于Z≤14的元素，采用KLL俄歇电子分析； 14Z42的元素，采用LMM俄歇电子较合适； Z42时，以采用MNN和MNO俄歇电子为佳。 主要组成部分：电子枪、能量分析器、二次电子