b河北工程大学传感器原理及工程应用第9讲.pptVIP

* 第 5 章 电容式传感器 * 第 5 章 电容式传感器 5.1 电容式传感器的工作原理和结构 5.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 5.3 电容式传感器的等效电路 * * 5.1 电容式传感器的工作原理和结构 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，如果不考虑边缘效应，其电容量为 (5-1) 式中: ε——电容极板间介质的介电常数，ε=ε0εr，其中ε0为真空介电常数，εr极板间介质的相对介电常数； S——两平行板所覆盖的面积； d——两平行板之间的距离。 * * 5.1.1 变极距型电容传感器 图 5-2为变极距型电容式传感器的原理图。当传感器的εr和S为常数，初始极距为d0时，由式（5-1）可知其初始电容量C0为 (5-2) 若电容器极板间距离由初始值d0缩小了Δd，电容量增大了ΔC，则有 (5-3) * * 图5-2 变极距型电容式传感器 图5-3 电容量与极板间距离的关系 在式（5-3）中，若Δd/d01时，1-(Δd/d0)2≈1，则式 (5-4) 结论：①在d0较小时，对于同样的Δd变化所引起的ΔC可以增大，从而使传感器灵敏度提高。 ② d