脉冲激5光沉积技术.pptVIP

* * 激光脉冲沉积 * * 化学气相沉积 溶胶凝胶法 脉冲激光沉积 薄膜制备方法 直流溅射 超声喷雾热解 分子束外延 * * 脉冲激光沉积的实验仪器图 * * 1960年，激光的示范首次出现。自此以后，激光受到多方面应用，发展成為强效的工具。激光对物料加工的帮助，效果尤其显着。激光具备许多独特的性质，例如狭窄的频率带宽、相干性、以及高释能密度。通常，光束的强度足以汽化最坚硬与最耐热的物料。再加上激光精确、可靠、具备良好的空间分辨能力。这些出色表现，所以得到机製薄膜、物料改造、物料表面加热处理、熔接，及微型图案等工业广泛使用。除此之外，多组分物质能够溶化，并沉积在底物上，形成化学计量薄膜。 * * 脉冲激光沉积法 脉冲激光沉积法 是一种真空物理沉积工艺，是将高功率脉冲激光聚焦于靶材表面，使其产生高温及烧蚀，而产生高温高压等离子体，等离子体定向局域膨胀发射并在衬底上沉积形成薄膜。 * * 总的来说，的概念简单易懂。脉冲激光束聚焦在固体靶的表面上。固体表面大量吸收电磁辐射导致靶物质快速蒸发。蒸发的物质由容易逃出与电离的核素组成。若果溶化作用在真空之下进行，核素本身会即时在靶表面上形成光亮的等离子羽状物。下图展示了一些过程中產生的典型等离子羽状物。 * * PLD的机制 的系统设备简单，相反，它的原理却是非常复杂的物理现象。它涉及高能量脉衝辐射衝击固体靶时，