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主要内容 Page ? * 第一部分 TCAD基本概念 第二部分 工艺仿真介绍 第三部分 器件仿真介绍 第四部分 器件——电路混合仿真介绍 1 TCAD基本概念 Page ? * 第一部分 第二部分 工艺仿真介绍 第三部分 器件仿真介绍 第四部分 器件——电路混合仿真介绍 TCAD基本概念 1.1.1 TCAD基本概念－TCAD TCAD ：Technology Computer Aided Design ，指半导体工艺模拟以及器件模拟工具 工艺仿真：所有关键制造步骤的模拟（注入，扩散，刻蚀，淀积，氧化，光刻 ） 器件仿真：二维和三维模式下的电学、热学和光学特性；模拟直流，交流，和时域响应 Page ? * 1.1.2 TCAD基本概念－数值计算 数值计算：借助计算机的数值求解 求解对象：物理模型方程和经验公式 关键：算法选择 Page ? * 1.1.3 TCAD基本概念－网格计算 网格计算：将半导体仿真区域划分成网格，在网格点处计算出希望得到的特性 有限元思想 GTO网格 关键： 网格疏密 网格比例 Page ? * 1.1.4 TCAD基本概念－基于物理的计算 基于物理的计算：计算时采用的方程是有物理意义的 工艺，扩散模型、刻蚀模型、离子注入模型… 器件，基本半导体方程：泊松方程；载流子连续性方程；传输方程（漂移—扩散传输模型和能量平