捷佳创PD-380A管式PECVD 保养作业指导书.docVIP

捷佳创管式PECVD 保养作业指导书 文件类别： 工作标准/生产设备管理 文件初始编制者/日期： 叶石标/2011.03.27 文件修订者/日期： 叶石标/2012.03.03 文件审批记录： 部门/职位 姓名 文件修改履历： 版本号 Rev 更改内容/描述 Description of Changes 发布日期 Release date 目的与范围 1.1本文件用以确保捷佳创管式PECVD处于良好的运行状态。 1.2本文件适用于捷佳创管式PECVD，所有捷佳创管式PECVD 保养操作人员。 规范性引用 无 职责 3.1 设备部设备维护人员负责确保产品保质保量的完成。同时确保人员的安全，设备的安全，产品的安全。 3.2 生产部设备操作人员负责并执行点检及日常维护保养工作。发现问题及时报告，不得自己擅自拆解设备，以免造成更加严重的后果。 4 术语和定义 无 5 管理内容与方法 5.1注意事项 5.1.1触摸屏面板不要被硬物碰撞。 5.1.2急停按钮是当进、出舟过程中出现意外时，手动暂停步进电机转动用的，在正常工艺时，请注意保持该按钮不要按下。 5.2保养内容 5.2.1本设备保养分为季保和年保。具体保养内容如下表： 项目 保养内容 季