先进表面技发展前沿.docVIP

先进表面工程技术发展前沿 闻立时 黄荣芳 1 先进表面工程技术的若干走向 先进表面工程技术是当代材料科学技术、真空科技与高技术的重要交叉领域和发展前沿。先进表面工程技术在高性能防护涂层方面的应用，仍在继续发展，成为现代高新技术领域和先进制造业的重要前沿之一；功能涂层和薄膜技术近年来发展迅速。以上趋势一方面使防护涂层走向多功能化，既提高了产品的品位，同时还有利于降低成本，便利应用，增加产品的市场竞争能力。另一方面，又使表面工程技术逐步发展成为新型材料制备工艺，其中既有作为体材料的制备工艺，如电铸成型、气相沉积特种材料(热解石墨、六方氮化硼、碳化硅)、喷射成型等，又有薄膜和微制造工艺，这后一类技术的特征尺寸还在不断地向更低数值扩展。其结果是，微小特征尺度的先进表面工程技术正在逐步发展成为微／纳技术的重要组成部分。在以上各方面，先进表面工程技术已在世界范围内，为科技和经济的发展作出了重要的的贡献。在我国，先进表面工程技术已成为赶超国际先进水平的重要前沿阵地。 2 先进表面工程的发展趋势 按其工作原理，表面工程技术可分为以下四大类。 ①原子沉积 是指通过形成原子分散状态的物质来沉积所需表面层或薄膜的技术，包括了液相沉积和气相沉积两类。前者如电镀、化学镀、电泳、溶胶-凝胶等，而后者则有物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、分子束外延(MBE)三大类别。其中，P