薄膜制备技术基础第2章.pptVIP

* * * * * * * C越大，实际抽速越大, 与体积流量，设计的时候需要考虑管道和真空泵的搭配 * 真空测量 真空系统 1.真空系统的结构示意图 真空室 泵 管路 阀门 真空测量 机械泵 分子泵 阀门 管路 闸板阀 真空室 真空测量 真空状态是气体分子运动的动态结果 漏气与放气 系统中气体的流动处于分子流状态 2.真空系统的组成 泵—负责抽空系统内的剩余气体 机械泵 扩散泵 分子泵 离子泵 吸附泵－钛吸附泵和冷凝吸附泵 真空室—安放实验装置 真空管路—连接真空系统 阀门—控制真空系统的连接情况 真空的测量 不同的真空要求由不同的泵和系统组成 3.表征真空系统的几个参数 (1)体积流速S（体积流率） 单位时间流过管道某一特定截面的体积 (3)流导C、流阻Z 表征气体沿管道流动的动力或阻力 Q=C(P2-P1), P1、P2为管道两端的压强 (2)流量Q（体积流率） 单位时间流过管道某一特定截面的的气体分子的量 稳定流动状态下流量守恒 串连： 并连： 串连时总流导小于任何连接的流导 (4)泵抽速S 泵入口处单位时间抽入的气体体积 (6)泵的有效抽速（实际抽速） 当一个容器由一根管道连接到泵进行抽气时，在容器出口处的抽速。 (5)泵抽除量R 表征泵的抽气能力 R