第4章_扫描电子显微镜技术SEM精读.ppt

第1页 二次电子 图41 电子枪示意图 （1）电子光学系统 电子枪产生发射电子，经加速后获得高能电子束。场发射电子枪可获得高能量、小直径电子束，此外还有发叉式钨丝热阴极电子枪、六硼化镧电子枪等。 4.4.1 扫描电镜的仪器结构与组成 59 二次电子 图42 扫描电镜的样品室 （1）电子光学系统 扫描电镜的样品室空间较大 ，可放置体积较大的块状样品，样品台可沿着三维方向移动或旋转，此外样品室内还安装有各类检测元件。 4.4.1 扫描电镜的仪器结构与组成 60 二次电子 图43 扫描电镜电磁透镜组 （1）电子光学系统 电磁透镜的作用是将电子枪 的束斑直径缩小，一般由三 个磁透镜组成。其中两个为 强磁透镜，用于束斑直径缩 小，另一为弱磁透镜，用以 对样品表面进行保护。 4.4.1 扫描电镜的仪器结构与组成 61 二次电子 栅网 聚焦环 光导管 光电倍增管 视频放大 图44 电子信息接收传递系统 （2）电子信息接收系统 各类电子信息分别由栅网过滤、聚焦环聚焦、光导管转换、光电倍增和视频转换等环节进行传递与放大。 4.4.1 扫