大学毕业论文_纳米金刚石半导体薄膜传感器的研究与模拟.docVIP

北方民族大学 学士学位论文 论文题目: 纳米金刚石半导体薄膜传感器的研究与模拟 系(部)名 称: 电子与信息工程系 学 生 姓 名 杨振军 专 业: 测控技术与仪器 学 号: 指导教师姓名: 张 秀 霞 教授 论文提交时间: 2010年5月22日 论文答辩时间: 2010年5月29日 学位授予时间: 北方民族大学教务处制 摘 要 金刚石具有很强的抗辐射、耐腐蚀性能，是能在高温下使用的新型宽能带隙半导体材料，被誉为发展前景十分广阔的第三代半导体材料。因此，金刚石薄膜可制成耐热、耐冲击、耐腐蚀、抗辐射、灵敏度高的压力传感器件。 本论文根据市场对场致发射材料的需求，在纳米金刚石粉体中掺入纳米石墨粉体制成纳米金刚石浆料，纳米金刚石作为微尖，引入石墨作为导电晶界。用纳米金刚石作为发射体，纳米石墨作为导电媒质，印刷制备场发射薄膜。为印刷制备大面积的，具有稳定均匀的场发射性能的纳米金刚石薄膜，研究纳米金刚石材料超声