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中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室 自己收集整理的 错误在所难免 仅供参考交流 如有错误 请指正！谢谢 中国工程物理研究院超精密加工技术 重点实验室 2013年开放基金课题指南 超精密加工技术重点实验室管理办公室 编制 二〇一二年十一月 目 录 一、 2013年开放基金重点课题指南 1 课题1： 紧凑型射频波导传输线研究 1 课题2： KDP晶体磁流变抛光过程超洁净清洗方法与装置研究 4 课题3： 金属薄膜热复合行为研究 5 二、 2013年开放基金面上课题指南 6 课题1： 基于石墨烯的THz探测器研究 6 课题2： 亚微米级氧化铈抛光粉制备技术研究 7 课题3： 低G值MEMS加速度计关键技术研究 8 课题4： 二硫化铁薄膜化加工技术及其电化学性能研究 9 课题5： 微细金刚石刀具刃口精密成形关键技术研究 10 课题6： K9材料表面与抛光液间微观相互作用机制研究 12 课题7： 磁流变抛光液绿色再制造关键技术研究 13 课题8： 低速高频响直线电机驱动精密定位平台关键技术研究 14 课题9： 强激光光学元件气囊抛光技术研究 17 三、 其它资助项目 19 四、 开放基金指南申请与评审 19 （一） 开放基金课题申请人条件 19 （二） 开放基金课题申请程序 19 （三） 开放基金课题评审程序 19 五、 实验室管理办公室联系方式 20 六、 附件 21 中国工程物