微结构分析技术 - 副本.pptxVIP

微观结构分析技术分析测试所周康宁2013-01-08General Research Institute for Nonferrous Metals 1 TEM主要内容微观结构分析技术2 SEM3 XPS4 SIMS工作原理与系统结构透射电子显微镜TEM类似光学显微镜透镜均为电磁透镜薄样品透过、吸收、散射、衍射衬度象、衍射像投影于荧光屏应用领域广泛：物理学、生物学相关的许多科学领域。电子波长短、分辨率高、高放大倍数、景深大、焦深长。213基本特点如：材料科学、纳米技术、半导体、病毒学等由于球差、象散和色差影响，实际分辨率远小于理论分辨率。晶体缺陷分析位错晶界孪晶晶格表面相界组织结构分析析出相、二次相多晶、单晶晶体结构、位向原位观察病毒细菌电子辐照拉伸、热应力新技术新进展FEI公司一直走在电子显微镜研发的世界最前沿?第二代球差校正器DECOR和高效能场发射电子枪 X-FEG，分辨率达0.5?（Titan TMG2)?拥有DECOR和X-FEG，分辨率达0.5?（Titan TMG2)Titan 80-300Kv?技术性能稳定、灵活。(Titan G2 60-300、Titan Cubed） 主要优点? Titan G2 60-300 显微镜采用全新的设计平台，专注于实现球差校正器和单色仪技术及其应用的最大稳定性、性能和灵活性。? Titan ETEM 是一款绝佳原位高分辨率电