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RENA清洗机培训界面及手动模式 操作界面介绍 详细说明 详细说明 详细说明 详细说明 详细说明 详细说明 手动模式详解 刻蚀槽功能 刻蚀槽功能 RENISE1功能 RENISE1功能 碱槽功能 碱槽功能 RENISE2功能 RENISE2功能 HF槽功能 HF槽功能 RENISE3功能 RENISE3功能 DRYER2功能 DRYER2功能 COOLINGUNIT功能 COOLINGUNIT功能 传动功能 传动功能 添加桶描述 添加桶描述 添加桶描述 HON3的添加桶下方与其他三个添加桶不同,只有一个RV880/45,这个限流阀是生产过程中微量补液用的,而在第一次配槽时HNO3是不经过添加桶,由流量计控制直接进储液箱的,KOH,HF都是从添加桶往槽内添加.所以配槽时由于HNO3的管路不同,添加桶也和其他三个添加桶不同. * * 程序内的日期和时间 模式、与PLC的连接情况及登陆的用户名 灯塔状态 机器名称 厂家名称 报警的详细信息 登陆按扭 一号传动的状态及设定速度 二号传动的状态及设定速度 传动速度补偿及刻蚀槽温度补偿 三号传动的状态及设定速度 机器的三种报警:严重的问题、机器本身的问题和一般的警报 进口处统计归零 准备上料（自动模式下才会出现） 出口处统计归零 进口处硅片统计 出口处硅片统计 刻蚀槽温度 三个电机分别控制三段滚轴 碱槽温度 门状态(绿色为关闭灰色为