4.1表面与界面概述.ppt

Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID “电子薄膜与集成器件”国家重点实验室. 概念与定义 表面科学与表面分析技术 表面分析技术的特点 表面分析方法简介 表面分析谱仪 电子能量分析器（电子能谱仪） 检测器 表面与界面 Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID “电子薄膜与集成器件”国家重点实验室. 一、表面科学与表面分析技术 表面科学是研究表面和界面的微观、宏观过程的科学； 表面科学涉及物理学、化学、生物学、材料科学等，是许多学科的边缘学科； 表面分析技术是表面科学的实验基础，是表面科学的一个重要分支； 表面科学对表面过程的研究是借助于表面分析技术才得以实现的； 电子科学与