电子显微镜simple2015-2.ppt

* * * * * * * * * * * * * * * * * * JSM-7600F produces maximum 200nA with small probe size. It is possible to acquire EDS maps at high magnification in a short time. JSM-7600Fは、最大200nAという大電流が得られ、大電流でもプローブ径が小さいので、このような高倍率での元素マップが短時間で収集できます。 * By using low voltage, a small area can be analyzed. At low voltage and high probe current, JSM-7600F can produce small probe so that sub-micron features can be analyzed. 低い加速電圧を使うことによって、より小さい領域の分析が可能になります。JSM-7600Fは、低い電圧で大きい電流を流した場合も小さいプローブが得られるので、サブミクロン領域の分析ができます。 Quantitative Map Original map Quantitative map (wt%) * 纱催化剂 沸石 Peak overlaps in superconductor sampleTecnai F20 Ti Ba Sr Y Electron image It can be seen here that the Ba and Ti peaks overlap and the Smartmaps look similar. Configurations STEM-Cs Corrected φ300 φ250 OL PL FEG CL CM OLCs TEM-Cs Corrected Det. Cham. OL IL PL View cham. FEG CL CM PL OL FEG CL CM Double-Cs Corrected View cham. View cham. Det. Cham. Det. Cham. IL IL CLCs OLCs CLCs 2,826.5 2,836 3,081.5 第四章 电子显微镜的多功能化 SrTiO2 FEI Titan 300kV TEM FEI Tardis * 1、透射扫描电子像（STEM） 以透射电子作信号形成的扫描图象称为透射扫描像。 高角度环形暗场(STEM)方法: 形成原子序数衬度像 * 采用能量分析器对透过的电子进行分光，可获得能量损失谱，以确定试样的化学组成（特别是轻元素）及一些化合物的价态。 硅铝氧氮耐热陶瓷的EELS分析 2、电子能量损失谱（EELS）： * 零损失像 C-K N-K SiN-SiC的能量过滤像 3、能量过滤器(GIF)： * HAADF STEM Image of SrTiO3 O-K map Sr Sr Ti HAADF signal(acquired Sr-K map Ti-L map HAADF signal(acquired EDS Mapping EELS Mapping Sr-K map Ti-L map O-K map * 本小节考核 学习报告 内容： 电子显微分析的最新进展 评分指标： 主题明确，切入点小 主线清晰，逻辑完整 文字通顺，避免笔误 可以引用，不可抄袭 * * * 1990年, Rose提出用六极校正器校正透镜像差得到无像差电子光学系统的方法。后来在飞利浦CM200ST场发射枪200kV透射电镜上增加了这种六极校正器，研制成世界上第一台像差校正电子显微镜。分辨率优于1?。 * * * * * * * * * * * 早期的电镜只是一个放大倍率较光学显微镜高的显微镜,可以观察光学显微镜无法观察的亚微米尺寸的病毒, 1954年由Ruska设计并在西门子公司生产的电镜中装上了电子衍射装置。 不但可以在电镜中看到物镜物面上尺寸小到微米甚至纳米的颗粒的形貌，还可以得到这个微小颗粒在物镜后焦面上的电子衍射图，从而计算出它的晶胞参数。这样，电镜不仅能观察样品的形貌，还可以进行结构分析。 由衍射斑点的位置、排列、斑点的大小，强度，可得到单位晶格大小、形状、结晶外形和晶格中原子的排列等信息。 * * * 现代电子显微学领域由两个重要部分组成——高分辨电子显微方法和分析电子显微方法。它们都是从微观尺度认识和研究