《物联网》第6章传感器研究.pptVIP

* 6.3 新型传感器 6.3.1 多功能传感器 6.3.2 MEMS传感器 6.3.3 智能传感器 6.3.1 多功能传感器 《物联网概论》-韩毅刚 * 实现形式 应用举例 多功能传感器的实现形式 几种不同的敏感元件组合在一起 同一敏感元件的不同效应 同一敏感元件在不同的激励下所表现出不同的特性 《物联网概论》-韩毅刚 * 多功能传感器产品 HCS01多功能传感器 一个三轴加速度传感器 一个气压传感器 两个磁阻传感器 《物联网概论》-韩毅刚 * 6.3.2 MEMS传感器 1．MEMS的特点 2．MEMS的组成 3．MEMS的应用 4．MEMS传感器的工作原理 《物联网概论》-韩毅刚 * MEMS 微机电系统 Micro Electro Mechanical System 特征尺度介于1μm和1nm之间 既有电子部件，又有机械部件 《物联网概论》-韩毅刚 * 1．MEMS的特点 微型化 批量生产 集成化 方便扩展 多学科交叉 《物联网概论》-韩毅刚 * 2．MEMS的组成 微传感器 微执行器 信号处理和控制电路 通信接口 电源等部件 《物联网概论》-韩毅刚 * MEMS系统组成及信号流图 《物联网概论》-韩毅刚 * 3．MEMS的应用 MEMS传感器 速度 加速度 压力 温度 湿度 气体 磁、光、声 生物 化学等 《物联网概论》-韩毅刚 * 电脑体感控制器 基于MEMS技