AlN陶瓷.pptVIP

工程陶瓷材料氮化铝 (1)热导率高(约320W/m·K)，接近BeO和SiC，是Al2O3的5倍以上； (2)热膨胀系数(4.5×10-6℃)与Si(3.5~4×10-6℃)和GaAs(6×10-6℃)匹配； (3)各种电性能(介电常数、介质损耗、体电阻率、介电强度)优良； (4)机械性能好，抗折强度高于Al2O3和BeO陶瓷，可以常压烧结； (5)纯度高；光传输特性好； (6)无毒； (7)可采用流延工艺制作。是一种很有前途的高功率集成电路基片和包装材料。 氮化铝粉体的制备 （1）铝粉直接氮化法 在高温氮气氛围中，铝粉直接与氮气化合生成氮化铝粉末，反应温度：800~1200℃ 优点：原料丰富，工艺简单，适宜大规模生产； 缺点：强放热反应，速度很快，大的熔融“铝珠”，造成产物高温下易凝结成块；铝粉表面上逐渐生成的氮化物膜，使氮气难以进一步渗透，氮化速度减慢 （2）碳热还原法 将超细氧化铝粉和碳粉混合，在流动的氮气气氛中，利用碳还原 Al2O3，被还原出的 Al 与氮气在流动状态下反应生成 AlN 加入适当过量的碳，既能加快反应速率又能提高铝粉的转化率，还有助于获得粒度均匀、粒径分布适宜的 AlN 粉 优点：是合成粉末纯度高，性能稳定，粉末粒度细小均匀具有良好的成形烧结性能 缺点：反应温度高，合成时间长，需要二次除碳，工艺复杂，