14-3薄膜干涉48911.pptVIP

上页 下页 §14-３ 薄膜干涉 一、薄膜干涉 一、薄膜干涉 一束光经薄膜上、下表面反射后再相遇而产生的干涉称为薄膜干涉. (分振幅法) S 1 2 3 4 d S P 2 1 n n1 n2 A B C r S P i 2 1 n n1 n2 A B D C 二、光程差 1、任意角入射的光程差 光线1的光程 光线2的光程 光程差： ① i 相同，d 不同， Δ不同——等厚干涉（在厚度相同的地方形成同一干涉条纹） ② d 相同， i 不同，Δ不同——等倾干涉（在入射角相同的地方形成同一干涉条纹） 垂直入射: 2、垂直入射的光程差 ① , ② , d n n1 n3 1 2 反射光 1 2 d n n1 n3 透射光 不连续变化: ③ ④ d n n1 n3 1 2 反射光 1 2 d n n1 n3 透射光 连续变化: 3、干涉条纹的位置 明纹 暗纹 （k = 0，1，2，3，…） （k = 1，2，3，…） 三、等厚干涉（厚度不均匀的薄膜） 1、劈尖干涉 ① 条纹位置 明纹 暗纹 （k = 0，1，2，3，…） （k = 1，2，3，…） 在棱边 零级暗纹 那么 d 1 2 θ 单色平行光垂直入射 ② 条纹间距 （明纹与暗纹间距相等） ③ 条纹特点：明暗相间的、平行于棱边的、间距相等的直条纹，棱边是零级暗纹. ④ 动态变化 ⑤ 应用： i、测细丝直径和薄片厚度 空气劈尖: 间距： 或 1 2 θ D L ii、检测工件表面光洁度 弯向棱,向下凹 远离棱,向上凸 例 在半导体元件生产中为了测定硅片上SiO2 薄膜的厚度，将该膜的一端腐蚀成劈尖状，用波长? = 589.3nm的钠光照射后，观察到劈尖上出现9条暗纹，且第9条在劈尖斜坡上端点M 处.已知SiO2 的折射率n =1.46，Si的折射率为3.42，试求SiO2薄膜的厚度. 解：劈尖处的光程差为： (第9条暗纹对应于k = 8 ) ( k = 0, 1, 2…) Si O M SiO2 d 形成暗纹条件： 2、牛顿环干涉 ① 条纹位置： （k = 0，1，2，…） （k = 1，2，…） 明纹 暗纹 ② 条纹特点 ： 以O为圆心的明暗相间的、间距不等的同心圆环，中心是零级暗纹，内疏外密，外侧级次高. ③ 牛顿环半径 r 与平凸透镜曲率半径R 的关系 （k = 1，2，…） （k = 0，1，2，…） 有介质时： ④ 应用 测量球面的曲率半径 第m 级暗环半径： 第m + k 级暗环半径： 四、等倾干涉（厚度均匀的薄膜） ① 单色光入射时，薄膜表面全亮或全暗. ② 复色光入射时，薄膜表面有的颜色亮， 有的颜色消失. 1、平行光入射 例2 玻璃(n3 = 1.5)表面镀一层均匀薄膜MgF2(n = 1.38)，为使可见光中对人眼最敏感的光(黄绿光λ= 550nm)反射相消，求膜的最小厚度. 解： 因为反射相消，所以 令 减反膜 增透膜 高反膜 MgF2 d n3=1.5 n =1.38 n1=1 例3 用白光垂直照射置于空气中的厚度为d = 0.50μm的玻璃片，玻璃片的折射率为n = 1.50，在可见光范围内（7700?--3500?），哪些波长的反射光被增强？ 解： d n 1 2 … 被增强的反射光有: L P o d n S r环 · 膜厚均匀（d 恒定） i i 2、点光源或扩展光源入射 f （k = 0，1，2，…） （k = 1，2，…） 明纹 暗纹 中心处： 条纹特点: 一组明暗相间的的同心圆环，内疏外密， 中心级次高，中心处可亮可暗. L P d n r环 o S S f M L o M S1 S2