6压电式传感器85867.pptVIP

第6章 压电式传感器一、压电效应和压电材料1、压电效应 在多应力下的压电效应 石英晶体压电模型 如果沿z轴方向施加作用力，因为晶体在x方向和y方向所产生的形变完全相同，所以正负电荷重心保持重合，电偶极矩矢量和等于零。这表明沿z轴方向施加作用力，晶体不会产生压电效应。 压电陶瓷的压电系数比石英晶体的大得多（约为石英的50倍）, 所以采用压电陶瓷制作的压电式传感器的灵敏度较高。 极化处理后的压电陶瓷材料的剩余极化强度和特性与温度有关, 它的参数也随时间变化, 从而使其压电特性减弱。温度稳定性和机械强度都不如石英晶体。  目前使用较多的压电陶瓷材料是锆钛酸铅, 它是由钛酸钡（BaTiO3)和锆酸铅（PbZrO3）组成，有较高的压电系数和较高的工作温度。 ＋＋＋＋ －－－－ ＋＋＋＋ －－－－ ＋＋＋＋ －－－－ 1）串联 串联使压电传感器时间常数减小，电压灵敏度增大，适合于电压输出、高频信号测量场合。 2）并联 并联使压电传感器时间常数增大，电荷灵敏度增大，适合于电荷输出、低频信号测量场合。 ＋＋＋＋ －－－－ －－－－ ＋＋＋＋ ＋＋＋＋ －－－－ 四、测量电路 压电传感器本身的内阻抗很高, 而输出能量较小, 因此它的测量电路通常需要接入一个高输入阻抗的前置放大器，其作用为: 一是把它的高输出阻抗变换为低输出阻抗; 二是放大传感器输出的微弱信号。压电传感器的输出可以是电压信号, 也可以是电荷信号, 因此前置放大器也有两种形式: 电压放大器和电荷放大器。 1. 电压放大器（阻抗变换器） 图6 - 7（a）、（b）是电压放大器电路原理图及其等效电路。  在图6 - 7（b）中, 电阻R = RaRi/(Ra+Ri), 电容C = Cc+Ci, 而ua = q/Ca, 若压电元件受正弦力f = Fmsinωt的作用, 则其电压为 式中: Um——压电元件输出电压幅值Um = dFm/ Ca; d——压电系数。 由此可得放大器输入端电压Ui, 其复数形式为 的幅值为 输入电压和作用力之间相位差为 在理想情况下, 传感器的Ra电阻值与前置放大器输入电阻Ri都为无限大, 即ω（Ca +Cc+Ci）R1, 那么由式（6 - 8）可知, 理想情况下输入电压幅值Uim为 式（6 - 10）表明前置放大器输入电压Uim与频率无关。一般认为ω/ω03时, 就可以认为Uim与ω无关, ω0表示测量电路时间常数之倒数, 即ω0=1/［R（Ca + Cc + Ci）］。 这表明压电传感器有很好的高频响应, 但是, 当作用于压电元件力为静态力（ω=0）时, 则前置放大器的输入电压等于零, 因为电荷会通过放大器输入电阻和传感器本身漏电阻漏掉, 所以压电传感器不能用于静态力测量。  当ω（Ca+ Cc+Ci）R1 时, 放大器输入电压Uim如式（6 - 10）所示。式中Cc为连接电缆电容, 当电缆长度改变时, Cc也将改变, 因而Uim也随之变化。因此, 压电传感器与前置放大器之间连接电缆不能随意更换, 否则将引入测量误差。  2. 电荷放大器 电荷放大器常作为压电传感器的输入电路, 由一个反馈电容Cf和高增益运算放大器构成, 当略去Ra和Ri并联电阻后, 电荷放大器可用图6 - 8 所示等效电路, * * ★ 电介质受力变形，内部产生的极化现象 ★ 去掉外力后，电荷消失后状态复原 ★ 作用力相反，电荷极性也发生变化 逆压电效应： 当在电介质的极化方向上施加电场时，这些电介质发生形变。（电致伸缩效应） 正压电效应： 2、压电效应方程 应力 T1、T2、T3 轴向正应力 （拉应力为正，压应力为负） T4、T5、T6 绕轴切应力 (逆时针方向为正) σ1、 σ2、 σ3 在垂直于x y z轴表面上的电荷密度 单一应力作用下的压电效应 dij为j方向应力引起i面产生的电荷时的压电常数 单位：库仑/牛顿 Tj －单位为帕 σi －库仑/米2　 单一作用力下的压电效应有以下四种类型 Ti为切向应力（T4~T6） Ti为轴向应力（T1~T3） 应力面 ⊥电荷面 应力面 ∥电荷面 应力∥电荷面 应力⊥电荷面 j － i≠ 3 j －i＝3 i≠j i=j 剪切压电效应 面切压电效应 横向压电效应 纵向压电效应 + - - + + - + - 电荷产生面i上的总电荷密度 dij的可能值 3、力——电荷转换公式 电荷产生面积Si 电荷量Qi 在j方向受力面积Sj