第二章电子显微分析概述.ppt

第二章 电子显微分析 Electron Micro-Analysis 电子光学基础 电子与固体物质的相互作用 透射电子显微分析 扫描电子显微分析 电子探针X射线显微分析 电子显微分析的应用 其他显微分析方法 案 例 1 案 例 2 案 例 3 案 例 4 案 例 5 案 例 6 问题2-1 什么是电子显微分析？ 电子显微分析的特点是什么？ 一、电子显微分析 ——是利用聚焦电子束与试样物质相互作用产生的各种物理信号，分析试样物质的微区形貌、显微结构、晶体结构和化学组成。 透射电子显微镜（TEM） 扫描电子显微镜（SEM） 电子探针（EPMA） 二、电子显微分析的应用 电子显微分析可用于研究物质的 微区形貌 显微结构 晶体结构 化学组成 三、电子显微分析的特点 高分辨率：0.2~0.3nm（线分辨率： 0.104~0.14）； 高放大倍数：15倍~100万倍（200万倍），且连续 可调； 是一种微区、选区分析方法：能进行nm尺度 的晶体结构、化学组成分析； 多功能、综合性分析：形貌、结构（显微结构、晶