气相和固相法资料.pptVIP

陶瓷粉体制备 (气相和固相法) 刘杏芹 中国科学技术大学，材料科学与工程系 （一）气相法制粉体 1.方法分类 2.过饱和度和核生成及核成长 有一定过饱和度,或者说过饱和度越大,成核 就越快,成核后,有一定过饱和度核才会长大。 假定有一反应式： aA+bB ? dD+eE 过饱和比SS∝ 代入式（1），则有： 3.气相反应法，化学气相淀积法（CVD） （Chemical Vapor Deposition） 指用气态原料，在气相中通过化学反应，形 成构成物质的基本粒子、分子、原子、离子 等，经过成核、生长二步而合成粉（粒子）、 膜、晶须、晶体等的工艺过程。 ★作为新材料的合成技术，有如下特点： ①多功能性，可合成陶瓷、金属、半导体、 有机高分子，粉（粒子）、膜、晶须、晶体或块 材等。可大量也可小量制备 ②产品纯度高，用高纯气体，用固体时，固体的蒸 气压要大，（生产规模大时，产品成本就可降低） ③工艺可实现精密控制可调 通过原子层之间界面的控制，可从相同原料 体系合成组成、晶型、晶体结构不同的材料。 例如: SiH4与NH3合成Si3N4时， 700°C