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几何量电子传感测量 测量工程研究所 叶晓明 微位移测量 概述 电阻式位移传感器 电阻应变式位移传感器 电容式位移传感器 电感式位移传感器 容栅式位移传感器 感应同步器 磁栅式位移传感器 概述 前边所介绍的多半用于大尺度的几何量测量，而在工程领域常常需要对一些相对微小的位移尺度进行测量，这通常由位移传感器来实现。 位移传感器包括： 线位移传感器 角位移传感器 而倾斜传感器则是以重力线为参照基准的角位移传感器 位移传感器 按形式分： 线位移 角位移 按物理原理分： 电阻式、 电容式、 涡流式、 压电式、 感应同步式、 磁栅式、 光电式等等 位移是指 物体的某个表面或某点相对于参考表面或参考点位置的变化。 线位移是指 物体沿着某一条直线移动的距离； 角位移是指 物体绕着某一定点旋转的角度。 在机械工程中经常要精确测量零部件的位移或位置，并且力、压力、扭矩、速度、加速度、温度、流量等参数也可经转换为位移进行测量。 位移传感器的分类 电位器式传感器 电位器是常用的一种电子元件， 它可以将机械位移或其他能变换成位移的非电量变换为电阻值的变化， 并容易转换成电压的变化。 电位器式传感器的优点： 结构简单， 价格低廉， 性能稳定， 对环境条件要求不高， 输出信号大， 易于转换， 便于维修。 其缺点： 存在摩擦， 分辨力有限， 精度不够高， 动态响应较差， 仅适于测量变化较缓慢的量， 常