《传感器技术》实验指导书(12级微电子)+陈显平概论.doc

实验相关说明，请仔细阅读： 实验前必须做好预习，写好预习报告，每次实验前交给实验老师检查，没有预习报告者不能进行本次实验，补做时间另行通知，同时实验成绩做降级处理。 迟到10分钟以上的同学，另选批次补做实验，并对实验成绩做降级处理。 请严格按照系统中所选批次来实验室做实验，如确实有事无法按时进行实验，请联系其他同学进行调换，并在实验前与指导老师说明情况。除机房实验外，每批实验最多20人。 未能按时进行实验的同学，请关注每个实验中最后一批的实验时间，缺做实验者将取消实验成绩，没有实验成绩将无法参加本门课程考试，希望大家引起重视。  《传感器技术》实验指导书 （适用专业；微电子制造工程） 指导教师：黄伟 桂林电子科技大学 二Ｏ一五年四月 目 录 实验一 电感式传感器特性测试及应用 3 实验二 应变式传感器特性能测试及应用 8 实验三 光电比色式传感器性能测试及应用 17 实验 四 传感器应用的计算机仿真 21 实验一 电感式传感器特性测试及应用 一、实验目的 1、了解电涡流传感器的结构、特点，掌握其工作原理和使用方法； 2、通过测量电涡流传感器的输入输出关系曲线，深入理解电涡流传感器的特性及其指标的含义； 3、了解电涡流传感器的静态特性，利用传感器进行位移测量，并进行误差分析； 4、利用机械结构、传感器、数据采集卡、虚拟仪器平台构建测试系统。 二、 实验原理 1、电涡流的形成原理 如图1-1所示，由物理学知识可知，若在线圈中通入交变电流I，在线圈周围的空间就产生了交变磁场Фi，将金属导体置于此交变磁场范围内，导体表面层产生涡电流，涡电流的高频磁场Фe以反作用于传感器电感线圈，从而改变了线圈的阻抗ZL或线圈的电感和品质因素。ZL的变化取于线圈到金属板之间的距离x、金属板的电阻率δ、磁导率μ以及激励电流的幅值A和频率f。 图1-1 电涡流传感器的工作原理 2、电涡流位移传感器原理 电涡流位移传感器是以高频电涡流效应为原理的非接触式位移传感器。前置器内产生的高频振荡电流通过同轴电缆流入探头线圈中，线圈将产生一个高频电磁场。当被测金属体靠近该线圈时，由于高频电磁场的作用，在金属表面上就产生感应电流，既电涡流。该电流产生一个交变磁场，方向与线圈磁场方向相反，这两个磁场相互叠加就改变了原线圈的阻抗。这一变化与金属体磁导率、电导率、线圈的几何形状、几何尺寸、电流频率以及头部线圈到金属导体表面的距离等参数有关。通常假定金属导体材质均匀且性能是线性和各项同性，则线圈和金属导体系统的物理性质可由金属导体的电导率 б、磁导率 ξ、尺寸因子 τ、头部体线圈与金属导体表面的距离 D、电流强度 I 和频率 ω 参数来描述。则线圈特征阻抗可用 Z=F(τ, ξ, б, D, I, ω)函数来表示。通常我们能做到控制 τ, ξ, б, I, ω这几个参数在一定范围内不变，则线圈的特征阻抗 Z 就成为距离 D 的单值函数，虽然它整个函数是一非线性的，其函数特征为“S”型曲线，但可以选取它近似为线性的一段。于此，通过前置器对信号进行处理，将线圈阻抗 Z 的变化，即头部体线圈与金属导体的距离 D 的变化转化成电压或电流的变化。输出信号的大小随探头到被测体表面之间的间距的变化而变化，电涡流传感器就是根据这一原理实现对金属物体的位移、振动等参数的测量。 当被测金属与探头之间的距离发生变化时，探头中线圈的磁场强度也发生变化，磁场强度的变化引起振荡电压幅度的变化，而这个随距离变化的振荡电压经过检波、滤波、线性补偿、放大归一处理转化成电压（电流）变化，最终完成机械位移(间隙)转换成电压（电流）。 所以探头与被测金属体表面距离的变化可通过探头线圈阻抗的变化来测量。前置器根据探头线圈阻抗的变化输出一个与距离成正比的直流电压。图1-2 为电涡流传感器的工作原理示意图。 图1-2 电涡流传感器工作示意图 主要技术指标： 供电电压 探头直径 线性量程 输出方式 ＋24V 11mm 4mm 1-5V 3、最小二乘法拟合原理： 给定平面上一组点（xi,f(xi)）(i=1,2,3…n)，用直线拟合。即求得f(x),使得偏差△Vm达到最小。 三、实验仪器和设备 1．计算机 1 台 2．LabVIEW8.2 以上版本 1 套 3．多传感器特性试验模块