测试技术第3章1.ppt

3.8.2 光纤传感器及其应用 根据光纤在传感器中的功能不同： （1）功能型（传感型）光纤传感器 （2）非功能型（传光型）光纤传感器 （3）拾光型光纤传感器 图3-80 光纤传感器的类型 a)功能型 b)非功能型 c)拾光型 1—光纤 2—被测对象 3—敏感元件 按照光在光纤中被调制的原理不同： 光纤传感器可分为强度调制型、频率调制型、波长调制型、相位调制型和偏振调制型五种类型。 按照实际应用中被测参数的不同： 光纤传感器可分为光纤温度传感器、光纤位移传感器、光纤压力传感器、光纤流量传感器、光纤电流传感器等。 活动板 固定板 工作原理：其结构由两块波形板构成，其中一块是活动板，另一块是固定板。波形板一般采用尼龙、有机玻璃等非金属材料制成。一根多模光纤从一对波形板之间通过。当活动板受到压力作用时，光纤发生微弯曲，导致内部光线重新分配：一部分从纤芯泄露到包层；另一部分反射回纤芯。当活动板所施加压力增大时，泄露的光线增多，反射回的光线减少，这样光强度受到了调制。通过检测光纤纤芯透射光强度就能测出压力信号。 图3-81 微弯式光纤压力传感器原理图 下图为两种形式的光纤位移传感器。其中 （a）图为透射式光纤位移传感器，当固定光纤和移动光纤的中心轴同轴时，光能几乎无损耗，但当两根光纤的光轴错开时，光能损耗增加。两根光纤错开的距离随被测物体位移的大小变化，光纤输出光通量又随光轴错开距离的大小而变化，通过检测输出光通量的大小即可实现对位移的测量。 （b）图为反射式光纤位移传感器，接收光纤所接收的光强随被测表面与光纤端面之间的距离而变化。在距离较小的范围内，接收光强（对应的是输出电压U）随距离x的增大而较快的增加，故灵敏度高，但位移测量范围小，适用于小位移、振动和表面状态的测量。在x超过某一定值后，接收光强随x的增加而减小，此时，灵敏度较低，位移测量范围较大，适用于物位测量。  图3-82 光纤位移传感器 透射式 位移传感器 反射式 位移传感器 下图为球面光纤液位传感器。将光纤用高温火焰烧软对折，并将端部烧结成球状。光源发出的光由光纤的一端射入，在球状对折部分一部分光透射出去，而另一部分光反射回来，由光纤另一端射出到光电器件。反射光强的大小取决于被测介质的折射率。被测介质折射率与光纤折射率越接近，反射光强度越小。显然，探头处于空气中时比处于液体中时的反射光强要大。因此，该探头可用于液位报警。若将多个探头安装在不同的高度，则可实现液位的检测。 光源 光纤 保护层 光电器件 空气 液体 图3-83 光纤传感器的特点 1）不受电磁干扰，电气绝缘性能好，可在强电磁干扰下完成传统传感器难以完成的某些参量的测量。 2）光波传输无电能和电火花，不会引起被测介质的燃烧、爆炸；光纤耐高温、耐腐蚀；因而能在易燃、易爆和强腐蚀环境中安全工作。 3）某些光纤传感器工作性能优于传统传感器。如加速度计、磁场计、水听器等。 4）重量轻、体积小、可挠性好，利于在狭窄空间使用。 5)有良好的几何形状适应性，可做成任意形状。 6）频带宽，动态范围大，对被测对象不产生影响，有利于提高测量精度。 7）利用现有的光通信技术，易于实现远距离测控。 3.9 半导体传感器 半导体传感器主要是利用半导体材料对磁、光、热、气体、湿度等物理量的敏感性而工作的，它们属于物性型传感器的范畴。 优点： 1）由于物性型传感器是基于物理变化的，因而无相对运动部件，故其结构简单、体积小、重量轻、易于实现微型化。 2）灵敏度高，动态性能好，输出为电物理量。 3）采用半导体为敏感材料容易实现传感器集成化和智能化。 4）功耗低，安全可靠。 缺点： 线性范围窄、输出特性易受温度影响以及性能参数离散性大等。 3.9.1 磁敏传感器 利用半导体材料的磁敏特性工作的传感器有霍尔元件、磁敏电阻和磁敏管等。 1、霍尔元件 工作原理：基于半导体材料的霍尔效应将被测量转换成电动势输出的一种传感器。 霍尔元件的材料：砷化铟（InAs）、锑化铟（InSb）、锗（Ge）、等高电阻率半导体材料。 图3-84 霍尔效应原理 相应的电动势称为霍尔电动势，其大小为 如果改变I 或B，或者两者同时改变，就可以改变UH 值，利用这一特性，可以把被测参数转换成电压量的变化。 霍尔元件由霍尔片、四根引线和壳体组成。霍尔片是一块半导体单晶薄片(一般为4×2×0.1mm3)，在它的长度方向两端面上焊有a、b两根引线，称为控制电流端引线，通常用红色导线，其焊接处称为控制电极；在它的另两侧端面的中间以点的形式对称的焊有c、d两根霍尔输出引线，通常用绿色导线，其焊接处称为霍尔电极。霍尔元件的壳体是用非导磁金属、陶瓷或环氧树脂封装。 外形 图3-85 霍尔元件外形