2第二章CCD原理精选.ppt

2.3 CCD的电荷耦合 1.电荷传输原理 电荷耦合就是电荷转移。 通过将一定规则的变化的电压加到CCD各电极上，电极下的电荷包就能沿半导体表面按一定方向移动。 通常把CCD电极分为几组，每一组称为一相，并施加同样的时钟脉冲。 电荷耦合：移位寄存器中电荷在外加栅压有序的变化下，从一个电极的势阱向下一个电极下的势阱转移的现象。 电荷耦合的电极间隙长度小于3μm。 2.CCD的电极结构 基本结构应包括：转移电极结构、转移沟道结构、信号输入结构和信号检测结构。 ①电极的作用：在驱动信号作用下使电荷定向转移，相邻势阱耦合。 耦合是一个动态过程。 电极必须满足使电荷定向转移和相邻势阱耦合的基本要求。 ② 电极的种类： 四相CCD: 提高转移效率而研制，比较复杂； 三相CCD：3个电极，三相驱动； 三相单层铝电极结构 二相CCD：2个电极，2相驱动； 被测物 光学系统2 CCD2 光学系统1 重叠部分 体沟道CCD 被测物 光学系统2 CCD2 光学系统1 重叠部分 表面沟道CCD（SCCD）的信号电荷只在贴近界面的极薄衬底内运动，由于界面处存在陷阱，信号电荷转移过程中将受到影响，从而降低了器件的工作速度和转移效率； 体沟道CCD（BCCD）在半导体体内设置信号的转移沟道，减轻或避免了上述问题。 2.CCD的电极结构 二相CCD