20061220非接触チャックPR中文资料.pptVIP

* 非接觸式吸盤 有關記載之內容,本公司有權在無預告下作任何變更,請多見諒,謝謝. 06.12.25 ＳＭＣ株式会社 開発３部 営業企画部 Confidential 32吋 旭硝子㈱社HPより抜粋 及び当社にて編集 ００年 ０２年 ０３年 ０４年 ０６年～ 第６世代 第８世代 約１．８倍 以３２吋電視畫面做試算結果 玻璃基板的變遷 Confidential SMC非接觸式吸盤的特長 ■對目前既存的「非接觸式」、 ①空氣消費量的消減 ②吸取力的UP　　　　　　　　 ■非接觸構造可使工作物的傷痕,吸著痕降到最低. ■BGA等有孔基板的抓取. ■因為是非接觸,成本上費用可減低. 從真空吸盤擴大新系列的吸盤 30N φ80 48N 24N 15N 4N 吸取力 φ100 φ60 φ40 φ20 供給壓力：0.4Mpa Confidential ※φ80?100は一部再検証中の為、参考????になります 非接觸吸盤的原理 回心流 工作物 Ａｉｒ層 回心流力所產生的真空部分 ■注意事項 工作物 ■因為採用非接觸式,工作物的周圍需要導軌來做 輔助固定 　　ＥＸ：①吸盤的固定孔來做導軌的固定. 　　　　 ②使用裝置的治具來做導軌的固定 ■因為是龍捲風構造的關係,若使用偶數的數量時, 可防止回轉現象. 　　　　?右.?左回轉共同使用時,可防止回轉現象. Confidential SEMICON JP’06實機表演 Confidential 可使工作物採非接觸式搬運　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 與工作物接觸 工作物 因採用非接觸方式: 　　　　?對於不喜歡接觸的FPD玻璃基板,太陽能電池,晶圓等搬送. 工作物 AIR層 非接觸式吸盤特長　① 真空吸盤 ＳＭＣ非接觸式吸盤 AIR層 與工作物接觸 Confidential 真空吸盤 ＳＭＣ非接觸式吸盤 歪曲 真空吸盤完全封閉狀態,所產生之真空壓力. 必要以上的応力発生 與工作物的重量相同的推力 來產生平衡 最小限の力で搬送できる。 非接觸式吸盤特長　② 僅需要少許的歪曲就能搬送工作物　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 不需要吸取工作物必要以上的應力 　　　　?對於討厭歪曲的,極薄的晶圓,紙,軟性基板搬送　　　　 Confidential ＳＭＣ非接觸式吸盤 真空吸盤 非接觸式吸盤特長　③ 凹凸不平的工作物搬送　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 有孔部材質的工作物,讓真空壓力無法達到完全真空,導致無法將工作物吊取. 工作物的重量與相同的升降應力達到平衡狀態,最小限的力道既可搬送. 不需要工作物相同重量的應力?PCB,衣服等搬送.　　　　 Confidential 非接觸式吸盤競爭對手比較 0.29MPa 0.19MPa 供給壓力 12Ｎ 吸取力 74,800円 51,100円 年間 （365日） 95L/min 205円(12h/day） 65L/min 140円（12h/day） Ａｉｒ cost （3円/m3） 競爭對手(i 牌) Φ６０（XT661-6A） Δ13，000円（32％向上） 空氣消費成本的比較 Confidential 尺寸大小別吸取力data Confidential Confidential Size ４０（XT661-4A）吸取力/空氣消費量特性 Confidential Size φ４０（XT661-4A）吸取力/空氣消費量特性 (他牌比較) Confidential Size φ４０（XT661-４A）工作物與間隙關係的吸取力 Confidential Size φ６０（XT661-6A） 吸取力/空氣消費量 Confidential Size φ６０（XT661-6A） 吸取力/空氣消費量(他牌比較) Confidential Size φ６０（XT661-6A） 工作物與間隙關係吸取力 Confidential 外形尺寸及型號體系 左回轉 右迴轉 型號體系 XT661-10A-L XT661-8A-L XT661-6A-L XT661-4A-L XT661-2A-L XT661-10A-R XT661-8A-R XT661-6A-R XT661-4A-R XT661-2A-R Φ１００ Φ８０ Φ６０ Φ４０ Φ２０ Confidential ※φ80?100還需要再檢證,以上data為參考用. 玻璃基板對應參照表 從基板重量大概概算對應參照表 Confidential ※本データは吊り上げ力のみを現します 相關機器 Confidential * * *