PECVD功率对减反射膜及电池电性能的影响.docVIP

科技论文 题 目 PECVD功率对减反射膜及电池电性能的影响 部 门 技术中心 作者姓名 袁静 完成日期 2008年9月 论文诚信承诺书 本人郑重声明：所呈交的科技论文（题目： ）是本人独立完成的。尽本人所知，除了论文中特别加以标注引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写的成果作品。 作者签名： 年 月 日 摘 要 摘要：本文对板式及管式PECVD中的微波和射频功率进行了调节，通过分析其对氮化硅薄膜厚度与折射率的影响，指出其对目前生产线工艺的影响，以及对最终电池片电性能的帮助作用。 关键词：PECVD、功率、转换效率、膜厚、折射率  ABSTRACT This paper plate and pipe PECVD in the microwave and radio frequency power to the regulation, through its analysis of the silicon nitride film thickness and refractive index of the impact