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电容式传感器 4.1 电容式传感器的工作原理 4.2 电容式传感器主要性能 4.3 电容式传感器的特点和设计要点 4.4 电容式传感器等效电路 4.5 电容式传感器测量电路 4.6 电容式传感器的应用 4.7 差动传感器 4.1电容式传感器的工作原理 1. 工作原理及类型 2. 变面积型电容传感器 3. 变介电常数型电容传感器 4. 变极距型电容式传感器 电容器有两个用介质（固体、液体或气体）或真空隔开的电导体构成。 1工作原理及类型 等位环结构 2变面积型电容传感器 电容式角位移传感器 3 变介电常数型电容式传感器 4变极距型电容传感器 4.2电容式传感器主要性能 1. 静态灵敏度 被测量缓慢变化时传感器电容变化量与引起其变化的被测量变化之比 2. 非线性 静态灵敏度平板式变面积型 变极距型 ，其静态灵敏度为 2 非线性变极距型 采用差动形式，并取两电容之差为输出量 4.3传感器的特点和设计要点 一、特点 优点: 1. 温度稳定性好（电容值与电极材料无关本身发热极小） 2. 结构简单、适应性强 3. 动态响应好 4. 可以实现非接触测量、具有平均效应 动态响应好 1 极板间的静电引力很小，需要的作用能量极小 可测极低的压力和力，很小的速度、加速度。可以做得很灵敏，分辨率非常高，能感受0.001μm甚至更小的位移 2 可动部分可以做得很小很薄，即质