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III-V材料表面化学清洗研究.pdfVIP

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  • 2026-09-01 发布于北京
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III-V材料表面化学清洗研究.pdf

    固体态现象第195卷(2013)第98-99页自2012/12/27起可获

    取于©(2013)TransTechPublications,

    doi:10.4028/

    III‑V材料的：表面化学考虑s

    1,a211

    DennisH.vanDorp,DanielCuypers,SophiaArnauts,PaulMertens,

    andStefanDeGendt1,2

    1IMEC跨大学微电子,卡佩尔大道75号,B‑3001比利时2大学,

    Cetijnenlaan200FB‑3001,比利时

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