3电子显微镜.pptVIP

* * 第三章 扫描电子显微镜Scanning Electron Microscope,SEM 3-1. 常规扫描电子显微镜 3-2. 环境扫描电子显微镜 3-3. 分析电子显微镜 3-4. 双束电子显微镜 3-5. 扫描探针显微镜 3-1.扫描电子显微镜 电子束在样品表面做光栅状扫描，检测器接受 产生电子的信号，经过放大处理后，在荧光屏 上显示样品的表面图像的一类电镜。 S-5000型 超高分辨率扫描电镜 1.分辨率：钨灯丝（高真空3.0nm，低真空、低电压15nm）； 场发射电子枪（0.5nm）。 2.放大倍率：十几倍～40,000连续可调。 3.图像特点：样品表面的三维灰度图像。立体感强，景深大。 4.样品制备：实体观察，适应面广，制作较容易。 一.扫描电镜的技术特点 5.电子枪真空度：钨灯丝（10-5~10-6乇） 场发射电子枪（ 10-8~10-9乇） 6.具有图像采集、编辑、样品台导航功能。 7.应用范围：任何固态物体（高真空模式），或者 生物活体样品（环境真空） 二.扫描电镜的结构 二次电子检测器 背散射电子检测器 电子光学系统（镜筒） 真空系统与电路系统 信号显示与记录系统 信号检测与转换系统 样品室 电子枪 聚光镜 扫