薄膜技术在示领域的发展.pptVIP

薄膜技术在显示领域的发展 纵观信息时代迅猛发展的各项技术，不论网络技术与软件，还是通信技术、计算机技术，如果没有TFT-LCD（薄膜晶体管阵列）为代表的平板显示技术做人机交互界面，就构不成现在的信息社会。显示器件作为信息产业的重要组成部分正加速发展。传统的阴极射线(CRT)显示器件技术早己成熟，性能较好、价格越来越便宜，但因体积大、重量大、功耗大、对人的身体辐射较强等方面，限制了在更广泛的领域中应用。目前液晶显示器(LCD)以低电压、低功耗、适宜于电路集成、轻巧便携等优点而受到广泛研究与应用。 薄膜晶体管（TFT）发展历史及现状 现状 氧化物代表——Al2O3的制备工艺与性能 * 液晶显示技术的发展经历了扭曲向列（TN-LCD）、超扭曲向列（STN-LCD）和薄膜晶体管阵列（TFT-LCD）三个重要的发展阶段。进入20 世纪90 年代后，LCD 技术发展开始进入高画质彩色图像显示的新阶段，有源矩阵的TFT 液晶显示技术的性能取得了飞速发展，克服了STN 液晶显示器件在响应速度、视角、灰度调制等方面存在的不足，技术性能接近于CRT。 历史 人类对TFT 的研究工作已经有很长的历史。早在1925年,JuliusEdger Lilienfeld 首次提出结型场效应晶体管（FET）的基本定律，开辟了对固态放大器的研究。1933 年，Lilienfeld 又将绝缘栅结构引进场效应晶体管(后