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* 扫描电镜样品的 制备与观察 1. 了解扫描电子显微镜的基本原理。 2. 了解扫描电镜样品制备的过程。 3. 观察生物电镜样品，在电镜下识别、掌握细胞的超微结构。 实验目的 扫描电镜的基本结构 扫描电镜的成像原理 扫描电镜的使用方法 扫描电镜样品的制备与观察 实验内容 一、扫描电镜的基本结构 (1) 电子光学系统（镜筒） 电子枪 磁电子透镜系列 样品室 (2) 扫描系统(3) 信号收集系统(4) 图像显示和记录系统(5) 真空系统(6) 电源系统 (1)电子光学系统（镜筒） 由电子枪、聚光镜、物镜和样品室等部件组成。它的作用是将来自电子枪的电子束聚焦成亮度高、直径小的入射束(直径一般为10nm或更小)来轰击样品，使样品产生各种物理信号。  (2) 扫描系统  扫描系统是扫描电镜的特殊部件，它由扫描发生器和扫描线圈组成。它的作用是：1) 使入射电子束在样品表面扫描，并使阴极射线显像管电子束在荧光屏上作同步扫描；2) 改变入射束在样品表面的扫描振幅，从而改变扫描像的放大倍数。 (3) 信号收集系统 扫描电镜应用的物理信号可分为：1) 电子信号，包括二次电子、背散射电子、透射电子和吸收电子。吸收电子可直接用电流表测，其他电子信号用电子收集器；2) 特征X射线信号，用X射线谱仪检测；3) 可见光讯号（阴极荧光），用可见光收集器。 (4)图像显示和记录系统 这一系统的作用是将信号收集器输出的信号成比例地转换为阴极射线显像管电子束强度的变化，这样就在荧光屏上得到一幅与样品扫描点产生的某一种物理讯号成正比例的亮度变化的扫描像，同时用照相方式记录下来，或用数字化形式存储于计算机中。 (5)真空系统 (6)电源系统 真空系统由机械泵与油扩散泵组成，其作用是使镜筒内达到 一定的真空度。电源系统供给各部件所需的特定的电源。 电子显微镜与普通光学显微镜的主要区别 光学透射像，反射像，干涉像 透射电子、二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线扫描像等 主要图像 机械聚焦 电子聚焦 聚焦原理 1000倍时，景深~0.1?m 1000倍时，景深~30?m 景深 10~2000倍 10~105倍，连续可调 放大倍数 200~100nm 透射0.14nm 扫描6nm 分辨率 玻璃透镜 电子透镜 透镜 大气 真空 媒质 光束（?＝400~750nm） 电子束（?＝0.0037nm~∝） 照射束 光学显微镜 电子显微镜 内容 二、扫描电镜的成像原理 扫描电子显微镜(SEM)的电子枪发射的电子束经高 压形成加压电子束，在聚光镜的汇聚作用下，形成极细的电子探针。接着，电子探针在扫描线圈的控制下对样品的表面进行光栅状扫描，并激发出带有样品信息的二次电子，由于样品的凹凸不平会造成样品的不同区域所激发出的二次电子的数量不同而形成样品成像的反差，最终，在荧光屏上可反映出带有样品信息的二次电子图像。 三、扫描电镜的性能 1.扫描电镜放大倍数界于光镜与透射电镜之间,通常是从500 倍到 10000倍； 2.其分辨能力为3nm； 3.SEM的最大特点是图像三维立体感强. 四、扫描电镜的使用方法 开机 换样品 观察与拍照 关机