光栅测量原理.pptVIP

* * * 光栅直线测量的结构 1 光栅的结构 2 光栅的光路 3 莫尔条纹形成的原理 4 莫尔条纹技术的特点 5 辨向原理 6 细分技术 什么是光栅 在玻璃尺（或金属尺）或玻璃盘上进行长刻线的密集刻划，得到间隔很小的黑白相间的条纹，没有刻划的地方透光（或反光），刻划的发黑处不透光（或不反光），这就是光栅，其中刻线称为栅线。常用的线纹密度为50条/㎜、100条/㎜、250条/㎜条数越多，光栅的分辨率越高。 a — 栅线的宽度 b — 缝隙的宽度 W — 光栅的栅距 光栅直线测量的结构 光栅传感器由光源、透镜、光栅副（主光栅和指示光栅）和光电接收元件组成。 光源： 钨丝灯泡： 价格便宜 输出功率较大， 与光电元件相组合的转换效率低。 半导体发光器件: 转换效率高，响应特征快速。 如砷化镓发光二极管，与硅光敏三极管相结合，转换效率最高可达30%左右。砷化镓发光二极管的脉冲响应速度约为几十ns，可以使光源工作在触发状态，从而减小功耗和热耗散。 光电元件 包括有光电池和光敏三极管等部分。 在采用固态光源时，需要选用敏感波长与光源相接近的光敏元件，以获得高的转换效率。 在光敏元件的输出端，常接有放大器，通过放大器得到足够的信号输出以防干扰的影响。 光栅的光路 透射光路 反射光路 （1）透射式光路 1-光源 2-准直透镜 3-主光栅 4