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第一章 电子光学基础 第一节 电子波与电磁透镜 分辨的最小距离 ： 式中，λ—光的波长 α—孔径半角 n —折射子数 nsinα—数值孔径 分辨的最小距离与波长成正比。 第二节 电磁透镜 可见光用玻璃透镜聚焦。 电子束如何聚焦？---旋转对称的静电场或磁场可起到聚焦的作用。 电子束的聚焦装置是电子透镜。相应的分为： 静电透镜 磁透镜 电磁透镜聚焦原理图 电磁透镜聚焦原理示意图 电磁透镜的焦距: f≈KUr/(IN)2 像 散 由于透镜磁场的非旋转对称而引起的。 透镜磁场磁场的非旋转对称，使得其在不同方向上的聚焦能力出现差别，结果使物点P通过透镜后不能在像平面上聚焦成一点。在聚焦最好的情况下，能得到一个最小的散焦斑，把最小的散焦斑的半径RA折算到物点P的位置上，就形成了一个半径为ΔrA 的圆斑，即： 像散可通过消像散器补偿。 色 差 色差是由于入射电子波长（或能量）的非单一性造成的。 若入射电子能量出现一定的差别，能量大的电子在距透镜较远的地点聚焦，而能量较低的电子在距透镜较近的地点聚焦，因此造成了一个焦距差。像平面在长焦点和短焦点之间移动时，可得到一个最小半径为Rc散焦斑。 认识概念：景深和焦长 * * 【教学内容】 1.电子波与电磁透镜 2.电磁透镜的分辨率 3.透镜的景深和焦长 【重点掌握内容】