FFU洁净室的末端化设备.doc

FFU?的应用摘??要??本文通过对我国市场上销售的FFU进行性能测试和工程设计经验，总结了FFU的应用与选择上的注意事项，供读者参考。关键词??风机过滤器单元??洁净室??余压??噪声 1??FFU及其性能FFU是FAN?FILTER?UNIT的缩写，中文称作“风机过滤器单元”也就是将风机和过滤器高效过滤器HEPA或超高效过滤器ULPA组合在?一起构成自身能提供动力的末端净化设备。过去在洁净工程中常用的带风机的高效过滤器的送风口，自净器，层流罩等都是FFU的一种?。不过，现在所说的FFU是具有标准模数尺寸，能按模数组合起来实现1级、10级、100级、1000级等不同级别的洁净室的净?化单元设备。目前，国内、外常用的模数有1200X6mm4英尺X2英尺、1200X900mm4英尺X?3英尺、1200X?1200mm4英尺X4英尺、其厚度多在300-400mlTl。FFU一般由以下四部分组成：风机、过滤器、机壳、电器控制元件。2??FFU的应用2．1适应性2．2经济性2．3风量和余压2．4噪声2．5控制2．6维护管理3FFU的选择1．??1试验方法和试验装置3．2结果分析（1）FU机组内的高效过滤器的初阻力均不相同，大约在120—150Pa之间。（2）当高效过滤器为初阻力，且保证FFU送风断面风速为0.35m/s时，不同FFU的机外余压均在100Pa左右，有的高达?130Pa。当FFU送风断面风速为0.45m/s时，各机组的机外余压，都能在60Pa以上。当FFU送风断面风速为0.45m/s时，被测的FFU的机外余压都是足以克服循环通道上的阻力。3FFU的声压级噪声大多在57dBA～59dBA之间。比较好的品牌其噪声在54dBA。4各不同晶牌的FFU的能耗大多在160～180W，只有个别品牌的能耗大，高达350W是一般能耗的一倍。? FFU介绍FFU的全称叫FAN?FILTER?UNIT，风机过滤单元，也就是风机和过滤器联结在一起，能自己提供动力的洁净设备。风机过滤单元/层流送风单元/FFU/空气过滤单元/空气过滤机/百级层流罩统称?：层流罩早在二十世纪六十年代，第一个层流室的建立就已经开始出现FFU的应用了。但直到1984年，在亚洲才出现大规模应用FFU的事例（大约有5000台）。是什么原因导致FFU在这么长的时间没有得到广泛的发展呢？?有三个问题占主导地位。?　　第一：噪声问题。各位可以想一想，在当时的生产工艺水平下，5000台风机在一起的噪声会是多大呢？?　　第二：压力平衡。在很大的静压箱里，每一个不同角落的风机是否能得到均衡的压力，这在当时也是不能够得到保证的。?　　第三：维护问题。FFU本身造价就比较高，如果它的电机寿命不能保证的话，更换又会带来附加投资。这些都是造成当时的企业不选择使用FFU的主要原因。?　　但是这一切，在1984年都发生了改变。首先是噪声问题得到了控制，大规模的FFU洁净厂房都可以把噪声控制在65DBA以下，这符合工业厂房的标准。其次随着自动控制的发展，监测和调节各个角落的静压也变得容易起来。最后电机的寿命随着技术的提高也得到了质的飞跃。?　　现在，随着半导体电子技术的发展，越来越密集的集成电路也要求着越来越高的洁净等级。　　?第一、灵活性。因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。?　　第二、可再利用性。从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。?　　第三、负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁静厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。?　　第四、缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。?　　第五、减少运行成本。虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。?　用大循环减少40%的运行成本。? FFU智能控制系统?　FFU的全称为Fan?Filter?Unit’s，?可以译为风机过滤器单元。???FFU作为洁净环境的一种自带动力的末端装置，从二十世纪八十年代开始，在世界各地逐步得到了广泛应用。但是多台FFU同时使用时，有两个问题不容忽视：?　　1．?所有FFU的运行状态的监测。?　　2．?根据每个洁净环境的实际需要，FFU是否能提供使环境能达到洁净级别所要求的最低风速，保证最低能