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第七章 静电放电损伤及防护 7.1 静电的产生 静电----指物体所带电荷处于静止或缓慢变化的相对稳定状态。由同性电荷的积累而产生的，其特点是高电位及小电量。 产生静电的两种方式： 磨擦生电：两绝缘体直接接触后形成 感应生电：无直接接触的带电体和导体之间形成 影响因素：环境湿度和空气中的离子浓度有关 静电的产生： 7.1.1 磨擦生电 两不同电子化学势或费米能级的材料(绝缘体)接触时，电子将从化学势高处向低处转移，两者分离时，一部分电子来不及返回出处，使化学势低材料带负电，化学势高者带正电 所带电荷数与分离速度有关 7.1.2 感应生电 导体靠近带电体时，近端产生异种电茶，远端产生同种电荷，出现局部带电区域 磨擦生电顺序 7.2 静电源 7.2.1 人体静电—与人体电容、湿度、电阻有关 7.2.2 尘埃静电 对IC制造工艺的影响：光刻、外延、氧化 7.3 静电放电模型 1.当器件通过带电人体或物体对地放电时，引起器件失效，可用HBM(Human Body Model)来描述放电： HBM模型： 2. 带电器件放电模型(CDM) 带电器件通过引脚对地放电引起失效时，可用此模型(引脚间电势差也损伤) 8.4 半导体器件对静电放电的敏感度(2005B版-GJB548)