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文件名称 MOCVD Recipe管控规定 文件编号 HL/DN-35-00-002-1.0 产品型号或材料代号 工艺代号 生效日期 替代版本 2011.10.30 新发布 一、 目的
为明确公司MOCVD Recipe工艺程序的管控，指导外延片生产的规范作业，特制定本管控规定。
二、 适用范围
适用于合肥彩虹蓝光科技有限公司量产MOCVD机台。
三、主要内容一般来说，正常生产情况下，机台长的职责是重复Recipe的执行，维持生产稳定性，不可擅自更改Recipe工艺参数。然考虑生产实际需要，特制定本规则如下：
自主调机人员与机台长正式完成机台交接之日起，原则上机台长的权限范围仅限于修正量子阱温度调节波 长；
若参考快速数据结果，需对Recipe工艺参数进行修正时，
修正幅度要控制在±5%之内（温度修正幅度±5℃），若需变动更大幅度，必须与原主调机人员协商，在其确认Recipe后方可执行；
修正参数要控制在2个以内（量子阱温度修正波长除外），若需变动更多参数，必须与原主调机人员协商，在其确认Recipe后方可执行；
修正项目必须避开量子阱部分，若需变更，必须与原主调机人员协商，在其确认Recipe后方可执行。
若需在机台上进行产品验证或提升时，
每5个run允许一次调整，且为“Y” Run；
必须与原主调机人员协商，在其确认Recipe后方可执行；
调整参数要控制在2个以内（量子阱温度修正波长除外）；
若机台长未按照以上规定擅自更改Recipe，将视情节严重程度对相关责任人给予相应的绩效处罚。
更改标记 更改单编号 更改员 日期 更改标记 更改单编号 更改员 日期拟编 于 斌 审核 标准化 批准合肥彩虹蓝光科技有限公司技术文件3/6合肥彩虹蓝光科技有限公司技术文件1/2合肥彩虹蓝光科技有限公司技术文件3/6
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