一部技工试题..docVIP

试题 设备技工试题： 一．扩散部分： A．实际操作: 1.正确安装炉体 2.正确安装石英炉管 3.正确安装SIC炉管 4.正确拆装推拉舟 5.正确检查热偶 6.正确安装主扩炉口保温桶 7..正确安装真空炉管 8..正确换砂轮 9..正确更换磨片水过滤芯 10.正确更换抛光真空过滤芯 11.正确吹抛光液管道 12.正确安装气路管道 13.正确更换特气钢瓶 14.正确拆装机械泵 15.正确拆装磨片机轴 16.正确拆装抛光机抛头 17.磨片机轴的调平 18.抛光机大盘的校平 B．理论试题： 车间机械泵所用的三相电源有哪几种？ 答：有380V，230V，208V 车间所用的控制电源有哪几种？ 答：有220V和110V 人体承受的安全电压是多少? 答：安全电压36V以下 写出扩散常用工艺气体名称及分子式? 答;氮气（N2）,氢气（H2），氧气(O2) 扩散所用TCA的化学名称及分子式？ 答：三氯乙烷（C2H5CL3） 扩散所用的P源的名称及分子式？ 答：三氯氧磷（POCL3） CVD工序有哪些特气，各自的分子式是什么？ 答：氨气（NH3）,笑气（N2O）,硅烷(SIH4) 翻译下列英文单词POWER，HOLD，STEP ，RUN，END,RESET 答：电源，暂停，跳步，运行, 结束，复位 扩散用的是几段炉体，怎样判断炉体的好坏？ 答：三段炉体；将万用表打至测电阻档位，分别测其内中外三段，一般电阻在几个欧姆以内，否则炉体断不能使用。 扩散炉气体管道用哪种方式检漏，怎样对其检漏？ 答：采用正压检漏的方式，一般最好对需要检漏的管道进行保压，如果压力不下降表明管道不漏，否则有漏，将检漏液涂在管道及其接口处，等待几分钟，看哪些地方有气泡则表明这个地方有漏需要处理。 CVD真空管道采用哪种方式检漏，怎样对其检漏？ 答：采用负压检漏的方式，一般需要关闭高阀进行保压，观察真空值变化速率，若过快则说明管道有漏，要用酒精涂在管道及接头处，看打在哪个地方时真空值迅速变大，则表明该地方有漏需要处理。 我们常用的三通气动阀上面有COM,NC,NO字样，分别代表什么含义? 答：分别代表公共端，常闭端，常开端 气动三通阀是怎样工作的？怎样对阀进行检漏？ 答：当阀的控制端没有通气体时，公共端COM和常开端NO通，当控制端有通气体时，公共端COM和常闭端NC通，常开端和常闭端不能有串气。 怎样对气动三通阀阀进行检漏？ 答：将公共端接入N2，将阀体放入酒精中，控制端不要接气体，此时常开端应该有气流出，，此时常闭端及阀体其他地方不能有气泡，否则有漏气;将控制端接入压缩空气，此时常闭端应该有气流出，常开端及其他地方不能有气泡，否则有漏。 扩散炉在恒温状态下突然降温，叙述可能的原因？ 答：可能是炉丝断，电极断，可控硅坏，控制线路故障等 TYLAN控制器0程序的作用？ 答： 相当于手动作用，未运行程序时对温度和气体的控制，可手动试气体流量和拉恒温。 TYLAN控制器副控的作用？ 答: 在自动状态时，显示各气体实际流量的作用；手动状态下，可单独控制各气体开关和流量；质量流量计的控制和显示 当机器出现003报警代码是什么报警？怎样应急处理？ 答：当出现报警代码003时，则表明分别是2#轴马达过流，磨片机会自动停机，无法开启继续使用，这时应该先复位（将Reset按钮向上拨一下），然后重新初始化开机，启动轴，看是否会再报警. 19. 当机器出现009报警代码是什么报警？怎样应急处理？ 答：当出现009报警代码时，表明气压不够，检查压力表的气压是否偏小，若压力表压力不够则联系领班通知动力部解决. 20.当机器出现010报警代码是什么报警？怎样应急处理？答：当出现010报警代码时，表明水箱里的水不够或是200V电源没有，先检查水箱里的水是否不够，看一下过滤器的水压是否偏小，若都正常可重新开机再试一下. 21. 当机器出现030报警代码是什么报警？怎样应急处理？答：当出现030报警代码时，表明排污口溢流，检查排污口是否被杂物堵住而造成排水不畅，若是先清理一下再看排水如何. 22. 报警代码1开头是什么报警？报警代码2开头是什么报警？怎样处理？答 ：报警代码为1开头的代表是上载部分的报警，报警代码为2的代表是下载部分的报警，当上下载感应出错时，可以先用气枪将上下载控制盒内的相应感应光耦清理，因为有时候由于灰尘或者污水进入控制盒内，会造成感应光耦被挡住而无法感应。 24. 请问装主扩炉升温有什么注意事项？ 答：主扩炉由于温度高，做片时间长，会出现做片时热偶断的情况，从而影响生产，并给做片质量带来隐患。为了避免这种情况的出现，我们在每炉出炉复测恒温后对炉子的热偶进行检查，及时发现那些将要断的热偶，将其重新焊接，以免在做片的时候断掉。检查热偶过后，由于热偶的位置会发生改变，这可能会影响到炉子的