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扫描探针显微技术 Scanning probe microscope, SPM 扫描探针显微镜家族成员 1981年Binnig和Rohrer研制了扫描隧道显微镜（STM） 1986年Binnig和奎特研制了原子力显微镜（AFM） 随后又研制了一系列基于类似原理的显微镜，包括磁力显微镜（MFM）、静电力显微镜（EFM）、扫描电容显微镜（SCaM）、扫描热显微镜（SThM）、摩擦力显微镜（LFM）、化学力显微镜（CFM）、扫描电化学显微镜（SECM）、扫描离子电导显微镜（SICM）等。 扫描隧道显微镜的工作原理 其工作原理是基于20世纪60年代约瑟夫逊发现的量子隧道效应。 将一根尖端非常细小的金属探针逼近待测物质的表面距离小于1nm以下（并没有真正接触）时，在外加电场的作用下，二者之间会有电流流过。这就是所谓的量子隧道效应，该电流称为隧道电流。是电子波动性的直接结果。 由于原子的直径大约在0.1-0.3nm左右，因此，当探针在样品表面上扫描的时候，如果通过反馈系统保持隧道电流不便，那么探针的运动轨迹就能够反映出样品表面的原子水频的凸凹不平。这就是STM的原理。 STM仪器中通过压电陶瓷管来实现精确地控制探针与样品间的距离，以及探针在样品表面的扫描。 压电陶瓷材料在加电压后会发生机械伸缩，精度高于0.1nm，从而保证了STM的原子级空间分辨能力。 STM的横向分辨率为