纳米科技导论2检测技术修改稿.pptVIP

（三）、原子力显微镜 AFM: Atomic Force Microscope SEM 、STM不能测量绝缘体表面的形貌。 1986年，Binning、Quate 和Gerber等人提出原子力显微镜的概念，在斯坦福大学发明了第一台原子力显微镜，分辨率高，而且可测量绝缘体。 Scanning Probe Microscope 扫描探针显微镜简称SPM，它不采用物镜来成像，而是利用尖锐的传感器探针在表面上方扫描来检测样品表面的一些性质如表面原子力，表面的弹性、塑性、硬度、黏着力、摩擦力等。 不同类型的SPM主要是针尖特性及其相应针尖－样品间相互作用的不同，包括： 扫描探针显微镜（STM) 原子力显微镜（AFM) 摩擦力显微镜（LFM) 磁力显微镜（MFM) 扫描近场光学显微镜（SNOM) 弹道电子发射显微镜（BEEM) 缺点： 缺乏统计性，立体感差，制样难，不能观察活体，可观察范围小，从几个微米到几个埃。 [1] 取样时样品少，可能不具代表性。 [2] 铜网捞取的样品少。 [3] 观察范围小，铜网几平方毫米就是1012平方纳米。 [4] 粒子团聚严重时，观察不到粒子真实尺寸。 **** 二、 扫描电子显微镜（Scanning electron microscope，SEM） 二次电子——从距样品表面l00?左右深度范围内激发出来的低能电子。50eV，与原子序数没有明显关系