集电作业-硅片制备.ppt

* 集成电路工程之---- 硅片制备 主讲人：杨会山 学号：1511082705 * 本次研究目的：研究硅片的制备过程， 即 沙子 硅片 包括： 硅的提纯 单晶硅生长 硅片制备 * 以下是订购硅晶圆时，所需说明的规格： 项目 说明晶面 {100}、{111}、 {110}?±?1o外径(吋) 6 8 12 厚度(微米) 300~450 450~600 550~650 600~750(±25)杂质 p型、n型阻值(Ω-cm) 0.01?(低阻值)?~?100?(高阻值)制作方式 CZ、FZ?(高阻值)拋光面 单面、双面平坦度(埃) 300?~?3,000 * §1