《毕业设计++红光LED表面粗化》.docVIP

北京工业大学毕业设计（论文） PAGE I 目录 TOC \o 1-3 \h \u HYPERLINK \l _Toc31196 摘 要 PAGEREF _Toc31196 I HYPERLINK \l _Toc9362 ABSTRACT PAGEREF _Toc9362 II HYPERLINK \l _Toc29487 目录 PAGEREF _Toc29487 III HYPERLINK \l _Toc25613 第1章绪论 PAGEREF _Toc25613 1 HYPERLINK \l _Toc24700 1．1 LED的发展现状及应用 PAGEREF _Toc24700 1 HYPERLINK \l _Toc3715 1．2 AlGaInP材料的特性 PAGEREF _Toc3715 2 HYPERLINK \l _Toc10531 1．3 AlGaInP材料的生长制备 PAGEREF _Toc10531 2 HYPERLINK \l _Toc32535 1．4制作AlGaInP红光LED的基本工艺步骤 PAGEREF _Toc32535 4 HYPERLINK \l _Toc4082 1.4.1. 光刻 PAGEREF _Toc4082 4 HYPERLINK \l _Toc22702 1.4.2. 清洗 PAGEREF