《毕业设计论文—蓝宝石化学机械抛光清洗技术现状与存在的问题》.doc

河南科技学院 2012 届本科毕业论文（设计） 论文题目：蓝宝石化学机械抛光清洗技术现状与存在的问题 学生姓名： 胡冬松 所在院系： 机电学院 所学专业： 机械设计制造及自动化 导师姓名： 苏建修 完成时间： 2012年5月15日 摘 要 蓝宝石是近年来随着通讯、信息产业迅速发展而开发并产业化的新型材料。它具有硬度高、化学稳定性好、透光性好、热传导性、电磁绝缘性、力学机械性能优良等特点。目前，蓝宝石晶片的超光滑加工技术的研究还不够深入，实际生产中通常采用化学机械研磨抛光技术进行加工。本论文通过对蓝宝石晶片抛光运动轨迹的理论分析和抛光过程的实验研究，研究蓝宝石晶片抛光加工机理，探讨蓝宝石晶片化学机械研磨、抛光工艺，系统分析主要工艺参数对晶片质量的影响。 1 理论分析抛光运动的规律并进行抛光轨迹的计算机仿真，探讨抛光表面形成机理，发现合适的抛光转速和抛光运动参数。得出：对单面化学机械抛光，其合适的抛光盘转速为 60rpm，工件盘中心到抛光盘中心的距离为100mm；对双面化学机械抛光，抛光盘转速与抛光机内齿圈的转速比值范围应在 0.79～1.4 之间。 2通过对蓝宝石晶片的化学机械抛光过程的实验研究，掌握测量蓝宝石晶片在不同