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目录 1. 概述 2. 电气模块 3. 工艺模块 3.1 工艺腔室系统 3.2 上电级和射频系统 3.3 下电极系统 3.4 真空系统 3.5 温控系统 3.6 气路系统 4. 传输模块 目录 1. 概述 2. 电气模块 3. 工艺模块 3.1 工艺腔室系统 3.2 上电级和射频系统 3.3 下电极系统 3.4 真空系统 3.5 温控系统 3.6 气路系统 4. 传输模块 系统组成 目录 1. 概述 2. 电气模块 3. 工艺模块 3.1 工艺腔室系统 3.2 上电级和射频系统 3.3 下电极系统 3.4 真空系统 3.5 温控系统 3.6 气路系统 4. 传输模块 电气模块构成 集簇控制系统 控制盒 电源系统 下位机 上位机 显示器 触摸屏 触摸笔 键鼠 键盘(带触摸板) 电源柜 输入电源: 380VAC/3Phase 整机电源系统 PM交流系统 PM直流系统 控制盒 工艺模块控制与传输模块控制 基于DeviceNet网络的控制系统 更快的响应速度，强大的功能 更高的可靠性与稳定性 附图是传输模块，工艺模块类似 控制系统划分 DeviceNet总线耦合器 外部I/O信号收集 互锁电路板 直流电源分配端子 目录 1. 概述 2. 电气模块 3. 工艺模块 3.1 工艺腔室系统 3.2 上电级和射频系统 3.3 下电极系统 3.4 真空系统 3.5 温控系统 3.6 气路系统 4. 传输模块 工艺模块 腔室组件设计 目录 1. 概述 2. 电气模块 3. 工艺模块 3.1 工艺腔室系统 3.2 上电级和射频系统 3.3 下电极系统 3.4 真空系统 3.5 温控系统 3.6 气路系统 4. 传输模块 进气喷嘴 特性和优点 石英喷嘴 抗等离子体 耐腐蚀 内壁粗糙度控制 稳定气流 减少颗粒污染 喷嘴出口 均匀气体分布 稳定的气流 石英窗 射频系统组成 射频系统－线圈 目录 1. 概述 2. 电气模块 3. 工艺模块 3.1 工艺腔室系统 3.2 上电级和射频系统 3.3 下电极系统 3.4 真空系统 3.5 温控系统 3.6 气路系统 4. 传输模块 目录 1. 概述 2. 电气模块 3. 工艺模块 3.1 工艺腔室系统 3.2 上电级和射频系统 3.3 下电极系统 3.4 真空系统 3.5 温控系统 3.6 气路系统 4. 传输模块 真空系统 真空获得 2100L/s抽速分子泵：极限真空10-9mbar 600m3/h抽速干泵：为分子泵提供前级真空压力 压力控制 摆阀 真空规 保护 二级角阀 隔离阀 真空系统-分子泵特性 目录 1. 概述 2. 电气模块 3. 工艺模块 3.1 工艺腔室系统 3.2 上电级和射频系统 3.3 下电极系统 3.4 真空系统 3.5 温控系统 3.6 气路系统 4. 传输模块 下电极温度控制 高可靠性低温chiller控制，实现下电极有效控温 高阻抗Galden HT-135/FC-3283作为循环液，不导电，无污染 下电极温度控制 Chiller特性 温度范围：-20 ℃ ～ +40℃ 温度精度 ：±0.4℃ 冷却能力： 2.0kw（-10℃） 泵功率： 20litters/min @ 0.45MPa 下电极温度控制 Chiller工作流程图 目录 1. 概述 2. 电气模块 3. 工艺模块 3.1 工艺腔室系统 3.2 上电级和射频系统 3.3 下电极系统 3.4 真空系统 3.5 温控系统 3.6 气路系统 4. 传输模块 工艺气体流动路径 气源柜 气体控制柜 工艺腔 分子泵 干泵 颗粒收集装置 Scrubber 厂房排气系统 气体控制柜 功能组件 手阀HV: 气体到气体控制盘的控制开关 气动阀: 气体到MFC 控制开关 MFC: 气体流量精度 ±1% 目录 1. 概述 2. 电气模块 3. 工艺模块 3.1 工艺腔室系统 3.2 上电级和射频系统 3.3 下电极系统 3.4 真空系统 3.5 温控系统 3.6 气路系统 4. 传输模块 传