第8章 半导体传感器1.pptVIP

* §8.1 气敏传感器 §8.2 湿敏传感器 气敏传感器 用途： 检测气体的类别、浓度、成分。 分类： 1、按传感器组成材料分 表面控制型 体控制型 气体与半导体间电子接受，电导率变化，而化学成分不变。 组成变而使电导率变化。 半导体 非半导体 2、按物理性质分 电阻型 非电阻型 利用其他参数检测。 利用电阻值发生变化。 二极管的伏安 特性和场效应 管的阈值电压 一 半导体气敏传感器的工作原理 当半导体器件被加热到稳定状态时，气体在半导体表面产生氧化还原反应而导致敏感元件的阻值发生变化。从而测量出气体的浓度和种类。 1、氧化性气体 具有负离子倾向的气体（电子接收性气体），如：O2、NOx 2、还原性气体 具有正离子倾向的气体，如：H2、CO、碳氢化合物。 二 半导体气敏传感器的类型和结构 1、电阻型气敏传感器 组成 加热器 电极、 外壳 敏感元件 燃烧元件表面尘埃、加速吸附 类型 薄膜型 厚膜型 烧结型 蒸发或射溅 印刷到电极的基片上后烧结 加热方式： 直热式： 将加热丝、测量丝埋入SnO2、ZnO等的粉末中烧结而成。 测量丝测量器件的阻值。国产有QN型，日本费加罗TGS#109型 旁热式： 2 4 1 3 3 1 4 2 特点：测量极和加热极分离，符号如上。 2、非电阻型气敏传感器 国产有QM-N5和日本费加罗TGS#812、813型 1 6 2 5 4 3 1 2