云纹干涉测试技术.pptVIP

云纹干涉测试技术 一、云纹干涉法的定义及发展： －八十年代初（自1979 Post D 最早提出）兴起的一种具有非接触测量、可进行全场、实时进行位移分析的高灵敏度大量程的光学测量方法。 －创始人Post D 开始以传统的几何云纹为基础去解释云纹法，并没能真正揭示其物理本质，并阻碍了其进一步发展； －由于该方法是以被测试件表面高灵敏度云纹光栅作为变形传感器，因此，高质量的云纹光栅的制作和复制成为影响该技术应用的关键； －近年来，严格的理论基础的建立、制作已日益成熟，使得该技术已成功被应用于材料、力学等研究领域，特别是应用于近代力学实验的精确测量中。 目前，通常使用频率为600－2400线/mm的高密度光栅，其测量位移灵敏度比传统的测量方法提高至几十、甚至上百倍。 云纹干涉法的定义及发展 云纹干涉法在实验技术和应用方面迅速发展使得： -由对面内位移的测量推广到测量离面位移,进而实现三维位移场同时测量; －已实现直接测量三维位移场的导数场和变形板的曲率场; －通过汞灯加滤波等方法可使白光云纹干涉法得以实现, 放松了云纹干涉法对光源的苛刻要求。 －其关键技术制栅水平的不断提高,如高温和零厚度高频光栅相继出现,使云纹干涉法的应用范围日益扩大； －云纹干涉法对应的测量灵敏度的理论上限为λ/ 2 的条纹位移,可见云纹干涉法是一种高精度测量方法； －－－最近已被应用研究微电机机械系统（MEMS）内表面位移的测量中； In－plane displacement: 面内位移 Out－plane displacement:离面位移 Moire interferometry:云纹干涉测量法 MEMS－microelectromechanicalsystem:微电机系统 如果试件受载产生变形,其变形信息就会载入各级衍射波中,试件表面位移的变化一一对应着衍射波的位相变化，则可根据衍射波干涉条纹形状及变化测量出试件表面的变形分布及其变化。 当对称入射的两准直相干光A 和B 的入射角α为: θ= arcsin (λf ) f ：试件栅的频率 λ：波长 由光栅的衍射方程: sinφ = mλf – sinθ m :衍射波级次（m=1,2,..n） 可知,它们一级衍射光的衍射角为:φ1 = 0 ,即其±1 级衍射光波A′、B′均沿试件栅法线方向行进。 如果试件栅非常平整,试件亦未受力,则两个正、负一级衍射波A′、B′可视为平面波,并分别表示为： A′= Ae iφa B′= Ae iφb 式中:　A －振幅,对于平面波位相φa 和φb 皆为常数 当试件受载发生变形时,平面波变为和表面变形相关的翘曲波前A″和B″,可分别表示为: A″= Aei [φa+φa( x , y) ] B″= Aei [φb+φb( x , y) ] 式中　φa ( x , y) 和φb ( x , y) 是由于试件表面位移变化而引起的位相变化。 当试件表面具有三维位移时,位相变化φa ( x ,y) 和φb ( x , y) 与x 、z 方向位移u 和w 有关,且由变形几何分析可知: φa ( x , y) =2π/λ [ w ( x , y) (1 + cosθ) + u ( x , y) sinθ] φb ( x , y) =2π/λ [ w ( x , y) (1 + cosθ) - u ( x , y) sinθ] 两束衍射波前经过成像系统后在像平面上形成干涉条纹的光强分布可表示为: I= ( A″+ B″) ( A″+ B″)* = 2 [ (φa - φb) + φa ( x , y) - φb ( x , y) ] =4 A 2cos2 1/2 [ m +δ( x , y) ] m = φa – φb δ( x , y) = φa ( x , y) - φb ( x , y) m -两束平面波A′和B′的初始位相差,为一常数,